판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293824637

KLA/TENCOR SFS 6200은 프로덕션 환경을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 빠른 CD (Independent Critical Dimension), 모양, 오버레이, 평면도 및 입자 측정을 포함하여 프로세스 모니터링 및 제어를 위해 여러 웨이퍼 특성에 대한 높은 정확도를 측정합니다. 이 장치에는 자동 샘플 처리 및 도량형 헤드, 고급 검사 및 도량형 컨트롤러, 강력한 독점 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. KLA SFS 6200은 고급 옵틱 및 이미징 기술을 사용하여 하위 옹스트롬 레벨 정밀도로 측정을 생성합니다. 독점적 인 고급 광학 다중 빔 간섭계 (MBI) 및 고속 스캐닝 레이저 헤드 (FSL) 는 타협하지 않는 정확성과 처리량을 제공합니다. 이 기계는 평평함, 오버레이 및 입자 특성을 정확하게 측정 할 수있는 많은 모듈 식 구성 요소를 특징으로합니다. 온보드 (integrated) 브라이트 필드 및 다크 필드 옵틱 (dark field optics) 은 작은 입자에 대해 뛰어난 디테일을 제공하는 반면, 통합 자동 입자 분석은 측정 시간을 줄입니다. TENCOR SFS6200 은 매우 자동화되고 구성 가능하며, 단일 및 다중 샘플 측정을 모두 지원합니다. RMMA (Integrated Repeatability Mode Machinistic Approach) 는 반복 가능하고 안정적인 정확도로 초고속 측정을 제공합니다. 이 툴에는 고해상도 보고서 생성 및 추적 (tracking) 기능도 포함되어 있어 프로세스 모니터링을 위한 상세한 실시간 분석 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR SFS6200 은 성능 기능 외에도 고급 아키텍처 (Advanced Architecture) 를 통해 빠르고 효과적으로 설치할 수 있습니다. 이 자산은 표준 (Standard) 과 극한 (Extreme) 환경 조건에서 모두 작동하도록 설계되었으며, 정교한 안전 기능은 운영자 및 모델 오류 위험을 최소화합니다. 이 장비는 또한 안정성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 시간 경과에 따른 성능을 유지하는 통합 교정 (calibration) 및 자체 진단 (self-diagnostics) 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로, SFS6200 은 업계 최고의 성능과 신뢰성을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치는 높은 정확도 측정, 반복성 (repeatability), 자동화된 작업 (automated operation) 을 결합하여 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 강력한 툴이 됩니다.