판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293822311

KLA/TENCOR SFS 6200 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 안정적인 프로세스 제어 및 장치 최적화를 위해 설계된 최첨단 고속 장비 솔루션입니다. 이 시스템은 로봇, 데이터 기반 자동화와 함께 고급 광학 도량형 (Optical Metrology) 기술을 결합하여 높은 처리량, 빠른 웨이퍼 특성 및 장치 구조를 측정할 수 있습니다. 중요한 측정의 자동 구현을 통해 KLA SFS 6200 장치는 주기 시간을 줄이고 웨이퍼 처리량을 증가시킵니다. 이 기계에는 정밀 조정 된 광학 영상, 광학 초점, 분광학 분석기, 프로브 기반 전기 검사 시스템 등 여러 센서가 장착되어 있습니다. 이러한 고급 도량형 기술을 통해 비접촉 광학 이미징 및 장치 기능 (예: 리소그래피, 게이트) 의 측정, 열 및 전기 특성 등이 가능합니다. 공구의 중심에는 로봇 팔이 있습니다. 이 기능은 고급 컴퓨터 제어 디스펜서 (computer-controlled dispenser) 와 결합하여 높은 처리량 웨이퍼 로딩 및 검사를 가능하게 합니다. 모션 컨트롤러는 필요에 따라 각 웨이퍼 위치에 광학 장치 (optic and probe) 를 정확하게 배치하고 초점을 맞추는 데 사용됩니다. "와퍼 '와 관련 하여 광학 을 최적 으로 정렬 하면 모든" 웨이퍼' 를 정확 하고 반복 할 수 있는 측정 을 할 수 있다. 이 에셋에는 레시피 (레시피) 를 설정하고 측정 매개변수를 사용자정의할 수 있는 소프트웨어 (나중에 사용할 수 있도록 결과를 저장할 수 있는 기능) 도 포함되어 있습니다. 정확하고 정확한 측정을 위해 TENCOR SFS6200 모델에는 PiezoZ 스캐너를 포함한 정밀 단계 기술이 장착되어 있습니다. 이를 통해 측정 중 프로브를 정확하고 반복적으로 배치 할 수 있습니다. 또한 통합 프로세스 인터페이스 (Integrated Process Interface) 를 통해 리모콘을 사용하여 장비를 작동시킬 수 있습니다. 이 시스템은 들어오는 웨이퍼 측정을 실시간으로 파악하여 수익률을 최적화하여 웨이퍼 형상 (wafer geometry), 도량형 결과 (metrology results) 및 프로세스 정권 매개변수의 전체 뷰를 제공합니다. 또한, 이 장치는 데이터 수집, 분석, 검토를 간소화하는 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 결론적으로, KLA SFS6200 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계는 사용자의 고급 도량형 기술, 정확한 단계 제어, 높은 처리량 자동화를 제공하는 고급 장비 솔루션입니다. 이 도구는 다중 센서, 고급 컴퓨터 제어 디스펜서, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 프로세스 제어 및 최적화를 위해 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼 측정을 제공합니다.