판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293804327
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KLA/TENCOR SFS 6200은 하나의 패키지로 제공되는 중요한 전기 매개변수를 빠르고 정확하게 측정 할 수있는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 제조 공정을 위해 설계되었으며, 전체 웨이퍼 수율 최적화를 위해 웨이퍼와 로트에서 정확한 다이 레벨 (die-level) 성능을 제공합니다. KLA SFS 6200은 온다이 (on-die) 및 채널 (channel) 수준에서 전기 측정에 대한 다양한 비 접촉 프로브 및 정밀 감지 기술을 갖추고 있습니다. 이를 통해 설계 사인오프 분석에 대한 정확성과 반복성이 향상됩니다. TENCOR SFS6200 은 몇 시간 (시간) 이 아닌 몇 분 안에 테스트를 수행할 수 있는 빠른 처리량을 제공하여 제품 출시 시간을 단축합니다. TYA (KLA Traumatic ™ Yield Analysis) 및 MetrologyX ™ 도구를 통합한 전체 웨이퍼 레벨 소프트웨어로 보완되는 웨이퍼 레벨 테스트 및 처리를 위한 Integrated Stage Automation이 특징입니다. 외상 수율 분석 (Traumatic Yield Analysis) 을 통해 TENCOR 독점 기술은 비닝 프리 (binning-free) 수율 분석을 제공하여 다이 내에서 잠재적 인 공구 일치 및 처리 문제를 자세히 밝힐 수 있습니다. MetrologyX (tm) 도구는 이전에 측정할 수 없었던 지점에서 상세한 측정을 제공하여 binning 결과의 정확성과 통계적 신뢰 수준을 추가로 제공합니다. 또한 KLA SFS6200에는 파라 메트릭, 혼합 신호 및 장애 분석 기능, 웨이퍼 결함에 대한 상세한 시각적 분석, 데이터 분석 및 조작을 위한 오프라인 분석 제품군을 제공하는 강력한 결함 검토 패키지, 시스템 9 (System 9) 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 장치는 안정성 테스트를 위해 TestManager (TM) 기능을 통합하여 테스트 실행과 테스트 계획을 자동으로 실행하여 빠르고, 안정적이며, 자동화된 테스트를 위한 사용이 간편한 시스템을 제공할 수 있습니다. 전체적으로 TENCOR SFS 6200은 수동 테스트 솔루션에 비해 성능이 우수합니다. 통합 멀티 동축 프로브 (multi-coaxial probe), 자동 정렬 (automated alignment) 및 자동 동작 (silent operation) 및 저진동 성능 등의 기능을 통해 고밀도 측정에 이상적인 선택이 가능합니다. 이 툴은 여러 사이트에서 작동하며, 빠르고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형을 위한 경제적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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