판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293777780

KLA/TENCOR SFS 6200은 고급 반도체 제조에서 고급 프로세스 제어 및 항복 관리를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 즉, 프로세스 엔지니어가 주기 시간 단축, 스루핑 (through-put) 향상, 드라이브 품질 향상, 생산성 향상을 위해 안정성과 일관성을 갖춘 결과를 창출할 수 있도록 설계되었습니다. KLA SFS 6200 시스템은 효율적이고 신뢰할 수 있는 레이저 교정으로 작동하여 정확성과 정확도를 높입니다. 자동화된 비용 효율적인 웨이퍼 테스트 및 웨이퍼 도량형이 가능합니다. 전면 이미징, 고급 조명 및 전자 빔 검사, FIB/SEM 도량형, 하전 입자 이미징 등 다양한 검사 및 도량형 기능이 제공됩니다. TENCOR SFS6200 장치를 사용하면 논리, 메모리, 데이터 변환기, 전원 변환기 등 다양한 유형의 반도체 장치에 대한 증착, 특성 및 장치 측정이 가능합니다. 또한 기본 제공되는 자동화 (automation-in) 기능과 사용자 정의 가능한 스크립팅 기능을 통해 사용자 정의 프로세스 흐름을 생성하여 웨이퍼 (wafer) 속성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. SFS6200 기계는 또한 다양한 웨이퍼 유형을 이미징하기위한 실시간 깊이 측정 및 상세한 스트레스 도량형을 제공합니다. 고급 3D RTCM 기술은 반도체 레이어를 정확하게 측정하고 플러스/마이너스 0.5 옹스트롬 정확도로 웨이퍼 두께를 빠르게 결정할 수 있습니다. 수율 및 품질을 더욱 향상시키기 위해, KLA SFS6200 툴은 프로세스 엔지니어가 프로세스 매개변수를 실시간으로 추적, 최적화할 수 있도록 자동화된 프로세스 모니터링 및 보고 기능을 갖추고 있습니다. 전체 테스트 프로세스를 기록, 저장하여, 신속하게 비교 및 분석할 수 있습니다. 결론적으로, TENCOR SFS 6200은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 최적의 수익률과 품질로 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 레이저 교정 (Laser calibration) 및 자동화된 프로세스 모니터링 및 보고 기능을 통해 프로세스 엔지니어는 하이엔드 프로세스 제어를 유지하고 세심한 웨이퍼 테스트 및 도량형을 수행 할 수 있습니다.