판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293602390

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼의 표면 품질을 측정하기 위해 설계된 고급 자동 표면 도량형 장비입니다. 다중 채널, 다중 축 이미징 기능을 통해 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. KLA 6200 Surfscan 시스템은 표면 거칠기, 프로파일 및 컨투어 특성 및 웨이퍼 표면 품질의 다른 중요한 측면을 측정하는 데 사용됩니다. 6200에는 패턴 인식 장치 (pattern recognition unit) 가 장착되어 있어 웨이퍼 서피스 이미지에서 자체 측정을 생성할 수 있습니다. 이 기계는 기존의 기계적 스캐닝 기법 (mechanical scanning techniques) 또는 고급 간섭 기법 (interferometric technies) 과 함께 사용할 수 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan은 높은 처리량과 효율적인 사용에 최적화되어 있습니다. 여기에는 세 가지 주요 구성 요소 (고해상도 디지털 카메라, 샘플 스캔을위한 정밀 x-y 스테이지, 고해상도 이미징 도구) 가 포함됩니다. 카메라는 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 의 비디오 이미지를 캡처하고 해당 피쳐의 이미지 맵을 생성하는 데 사용됩니다. 정밀도 (precision stage) 는 두 축을 따라 카메라를 기준으로 이동하여 웨이퍼를 스캔하는 데 사용됩니다. 그러면 고해상도 이미징 에셋이 스캔된 서피스의 각 지점에서 데이터를 캡처하여 2D 이미지를 생성합니다. 이 모델은 표면 피쳐를 나노 미터 이하의 정확도까지 측정 할 수 있습니다. 이 장비는 최소 운영자 참여로 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 생성합니다. 그것은 monocrystalline, polycrystalline 및 epitaxial silicon과 같은 광범위한 기질과 호환되며, 곡선, 플랫 또는 계단 모양으로 표면을 측정 할 수 있습니다. 6200 Surfscan은 사용하기 쉽고 Windows PC 인터페이스를 통해 작동합니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 측정에 대한 자체 매개변수를 정의하고, 결과를 실시간으로 표시하며, 엔지니어링 분석을 위한 세부 보고서를 생성할 수 있습니다. 자동화된 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 기능을 통해 웨이퍼의 품질과 정확성을 검증할 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 표면 품질을 평가하기위한 이상적인 도구입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 (high resolution imaging), 자동 스캐닝 (automated scanning) 및 실시간 보고 (real-time reporting) 기능을 결합하여 반도체 프로세스 제어 및 품질 보장을 위한 이상적인 솔루션이 됩니다.