판매용 중고 KLA / TENCOR 6100 #9250107

KLA/TENCOR 6100 Wafer Testing and Metrology Equipment는 웨이퍼 제조 공정을 간소화하고 수익률을 최대화하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 검사 도구입니다. 자동 웨이퍼 하우징 스테이션 (automated wafer housing station), 스테이지 스캐너 시스템 및 여러 자동 도량형 모듈 (automated metrology module) 을 포함한 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 자동 웨이퍼 하우징 스테이션에는 최대 66 개의 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 배치 로딩 회전 목마가 포함되어 있습니다. 즉, 기술자의 수작업을 계속하지 않고도 원활하고 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. 스테이지 스캐너 머신 (stage scanner machine) 은 웨이퍼를 움직여 오른쪽 도량형 모듈로 전달하도록 설계된 전동 플랫폼입니다. 정의 된 위치로 빠르게 이동하기 위해 2 개의 로터리 인코더가있는 부드러운 동작을위한 정밀 도브 테일 가이드 (precision dovetail guide) 로 구성됩니다. 또한 최대 10 미크론의 높이 차이를 감지하여 정확한 측정이 가능합니다. 도량형 모듈은 웨이퍼의 중요한 매개변수 (예: 두께) 를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 간섭계를 사용하여 단일 또는 다중 파장 모드에서 두께를 측정합니다. 또한 분광형 타원체계를 사용하여 필름 두께, 서피스 거칠기 및 광학 상수를 측정합니다. 기타 기능으로는 스테이지 교정 및 디지털 카메라의 비전 지원이 있습니다. 클라 6100 (KLA 6100) 은 웨이퍼 수율을 개선하고 출력을 극대화하려는 장치 제조업체에 필수적인 도구다. 빠르고, 안정적이며, 정확한 자산으로, 최소한의 시간과 노력으로 높은 수준의 품질과 정확성을 보장합니다. 정확한 도량형 기능과 자동화된 웨이퍼 처리 기능을 갖춘 TENCOR 6100 (TENCOR 6100) 은 다양한 웨이퍼 처리 어플리케이션에 적합합니다.