판매용 중고 KLA / TENCOR 6000 Series Surfscan #9188561

KLA / TENCOR 6000 Series Surfscan
ID: 9188561
웨이퍼 크기: 4"-8"
Non-patterned surface inspection system, 4"-8".
KLA/TENCOR 6000 Series Surfscan은 현미경 수준의 웨이퍼 품질을 모니터링하고 최고 생산 표준을 보장하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 4 가지 주요 구성 요소 (통합 도량형 플랫폼, 정밀 측정 도구 모음, 자동 결함 검토 소프트웨어, 종합적인 결함 데이터베이스) 로 구성됩니다. 통합 도량형 (Integrated Metrology) 플랫폼은 광학 및 전기 기술을 사용하여 단면 및 양면 웨이퍼를 보고, 측정하고, 특성화할 수있는 다중 센서 장치입니다. 정밀도 측정 도구 (precision measurement tools) 는 웨이퍼 품질 (wafer quality) 의 변동 및 여러 유형의 회로 사이에서 감지 될 수있는 결함 깊이를 식별할 수 있습니다. 자동화된 결함 검토 소프트웨어 (Automated Defect Review Software) 는 웨이퍼 (Wafer) 와 해당 위치의 잠재적 결함을 하나의 이미지로 강조하며, 근본적인 문제를 신속하고 정확하게 파악합니다. 마지막으로, 포괄적인 결함 데이터베이스 (comprehensive defect database) 는 시간이 지남에 따라 결함의 측정을 기록하여 사용자가 데이터의 통계적 분석을 수행하여 결함의 본질을 더욱 파악할 수 있도록 합니다. KLA 6000 Series Surfscan은 웨이퍼 검사, 장치 크기 결정, 표면 품질 등 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 각 기계는 두께 (thickness), 크기 (size), 미세 구조 (microsstructure), 광학 특성 (optical properties) 과 같은 다양한 항목을 측정할 수 있으므로 광범위한 결함 유형을 결정할 수 있습니다. 또한 이 도구는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 설계되었으며, 사용자가 빠르게 웨이퍼를 분석하고 색상 코드 표현으로 결과를 볼 수 있습니다. 또한, 자동 레시피 (automated recipe) 방식을 통해 자산의 설정과 사용이 간편하고 효율성이 극대화됩니다. 요약하면, TENCOR 6000 Series Surfscan은 생산의 정확성과 품질을 극대화하기 위해 설계된 효과적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 종합적인 풀 센서 플랫폼, 정밀 측정 도구, 자동화된 결함 검토 소프트웨어, 결함 데이터베이스 (Defect Review Software) 등을 갖춘 이 장비는 사용자가 웨이퍼 (Wafer) 생산에 사용할 수 있는 최고의 품질 표준을 보장해 줍니다.
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