판매용 중고 KLA / TENCOR 587 #9399578

KLA/TENCOR 587은 반도체 장치 테스트 및 장애 진단을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이미지 획득 및 이미지 분석 기술을 활용하여 선폭, 전체 표면 특성, 결함 위치, 크기, 전기 매개변수 등 다양한 장치 매개변수를 측정합니다. KLA 587 은 Wafer binning, 프로세스 제어, 수율 개선 등의 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 입자 측정, CDD (critical dimensioning), 오버레이 정렬, 라인 노드, 측정 경유 등의 다양한 이미지 분석 기능을 제공합니다. TENCOR 587 은 고급 이미지 획득/분석 기술과 강력한 데이터 관리/보고 기능을 결합하여 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 이 장치는 최소 선폭, 라인 노드, vias, 이상, 패턴, 결함, 사진 저항 이상 및 장치 매개 변수를 포함한 다양한 기능을 측정 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 웨이퍼 기판을 처리하고, 대부분의 업계 표준 FAB (Fab Process) 를 지원하고, 광범위한 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 주목할 만한 기능으로는 대용량 고해상도 다중 레벨 CCD 이미징 도구, 광역 분석을위한 넓은 시야각 (field-of-view), 고속 듀얼 채널 이미지 획득 자산 등이 있습니다. 또한 587 은 고급 결함 분류/정렬 (Advanced Defect Classification and Sorting) 기능을 제공하여 단일 이미지에서 여러 개의 얼룩, 구덩이, 긁힘 및 기타 결함을 감지하고 캡처할 수 있습니다. 이 모델의 강력한 데이터 수집/관리 장비는 대량의 데이터를 빠르고 효율적으로 저장/처리할 수 있게 해 줍니다. KLA/TENCOR 587 은 오늘날 가장 발전된 반도체 Fabs 의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다용도, 강력한 시스템입니다. 강력한 이미지 획득/분석 기능, 광범위한 데이터 처리/스토리지 용량, 포괄적인 보고 기능을 갖춘 KLA 587 은 Wafer Bin 및 Process Control 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.