판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9312779

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 반도체 칩 제조업체에 대한 정확한 측정을 제공하는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 "시스템 '은 직경 이 200" 밀리미터' 에 이르는 다양 한 "웨이퍼 '와 다른 표본 들 에 대한 광범위 한 전기, 광학, 지형 및 화학적 특성 을 측정 할 수 있다. KLA 5500 Surfscan은 디지털 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 장치와 함께 고급 다중 파장 간섭 플랫폼을 사용하여 웨이퍼 표면의 결함 및 도량형 정보를 정확하게 이미지화합니다. 이 기계는 서브 미크론 (sub-micron) 기능을 감지 할 수 있으며, 0.1 m의 정확도로 결함 분류를 허용합니다. TENCOR 5500 Surfscan은 여러 샘플 및 웨이퍼 유형을 측정하는 유연성을 제공하는 프로그래밍 가능한 샘플 스테이지도 제공합니다. 이 도구에는 세분성이 높은 샘플의 이미지를 수집하여 물리적, 전기적, 광학적, 지형적, 화학적 특성을 정확하게 측정 할 수있는 강력한 이미지 획득 스위트가 포함되어 있습니다. 또한 5500 Surfscan의 통합 멀티 태스크 프로세서 (multi-task processor) 를 통해 데이터를 2 초 이내로 분석하여 중요한 도량형 값을 신속하게 평가할 수 있습니다. 자산은 업계 표준 데이터베이스로 데이터 아카이빙 모델로 구성됩니다. 고급 애니메이션 및 보고서 생성 (Report Generation) 기능과 더불어 수집된 데이터를 위한 안전한 스토리지 기능을 제공합니다. 또한 데이터 아카이빙 (data archiving) 장비를 사용하면 적절한 테스트 데이터와 분석을 신속하게 회수하고 확인할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 정교한 시스템 통합 및 제어를 위해 KLA 업계 최고의 컨트롤러 소프트웨어를 사용합니다. 이 소프트웨어에는 강력한 분석 도구 라이브러리 (Library of powerful analysis tools) 가 포함되어 있어 wafer 테스트 데이터의 추세를 신속하게 파악하고 결함 매개변수를 분석할 수 있습니다. 또한, 컨트롤러 소프트웨어는 기존 제조 공정에 쉽게 통합할 수 있도록 여러 언어를 지원합니다. KLA 5500 Surfscan 은 통합형 하드웨어/소프트웨어 솔루션 외에도, 타사 공급업체의 추가 주변 장치를 통합할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 새로운 기술을 개발함에 따라 장치를 특정 요구 사항에 맞게 조정하고, 시스템의 기능을 확장할 수 있습니다 (영문). 결론적으로, TENCOR 5500 Surfscan은 다양한 웨이퍼 및 샘플 크기에서 여러 속성을 정확하게 측정 할 수있는 매우 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 고급 이미징 기능, 강력한 데이터 분석 소프트웨어, 보안 아카이빙 (Secure Archiving), 타사 주변 장치와의 통합의 유연성을 갖춘 5500 Surfscan은 모든 Wafer Testing 및 Metrology 요건에 적합한 솔루션입니다.