판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9252403

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 높은 처리량과 높은 정밀 스캔 기능을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (최첨단 고속 모션 스테이지 및 초정밀 웨이퍼 변환 스테이지) 로 구성됩니다. 모션 스테이지에는 고해상도 선형 인코더와 미세 조정 광학 공기 베어링 (Optical Air Bearing) 이 장착되어 있어 나노 미터 이하의 반복성과 웨이퍼의 정확한 표면 스캔이 가능합니다. 번역 단계 (Translation Stage) 는 추가 정밀도를 제공하여 웨이퍼의 결함을 매우 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 두 컴포넌트는 함께 웨이퍼 (wafer) 에 대한 다양한 측정 및 테스트를 수행 할 수 있습니다. 가장 일반적인 측정 유형에는 라인 스캔, 영역 스캔, 스팟 측정 및 에지 검출 스캔이 포함됩니다. 이 장치는 또한 작은 범프, 입자, 마이크로 범프, 피트, 긁힘과 같은 웨이퍼 표면에 작은 구조를 프로파일 링 할 수 있습니다. 또한 초점 평면 라인 스캔, 온도 프로파일링 및 X- 선 이미징과 같은 특수 측정을 수행 할 수 있습니다. 또한 KLA 5500 Surfscan 은 다양한 측정 유형을 제공할 뿐 아니라, 통합 소프트웨어 패키지를 통해 측정 데이터를 손쉽게 캡처, 분석, 저장할 수 있습니다. 소프트웨어 패키지는 사용자 친화적으로 설계되었으며, Wafer Testing (웨이퍼 테스트) 및 Metrology Task (도량형 작업) 를 빠르고 정확하게 수행할 수 있는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 TENCOR 5500 Surfscan은 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업을 수행하는 데 적합한 기계입니다. 이 제품은 다양한 측정 및 테스트 (measurement and test) 를 수행할 수 있어 여러 업종과 어플리케이션에 적합합니다. 강력한 통합 소프트웨어 패키지를 통해 측정 데이터를 손쉽게 캡처, 분석, 저장할 수 있으며, 따라서 원하는 작업을 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다.