판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9213367

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 반도체 웨이퍼에 대한 안정적이고 정확한 테스트 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 검사 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 (optical) 및 간섭계 (interferometric) 기술을 활용하여 개별 칩과 다이의 고해상도 이미지를 제공하여 여러 기능과 결함의 정확한 특성과 측정을 가능하게 합니다. KLA 5500 Surfscan 장치는 최대 10 미크론 정밀도로 다양한 유형의 웨이퍼 표면을 효율적으로 스캔 및 측정 할 수 있습니다. 입자와 에치 피트 (etch pit), 톤 및 두께의 변화를 감지하고 매핑 할 수 있습니다. 3 차원 (3D) 스캔헤드는 고주파 (high-frequency) 광을 사용하여 짧은 시간 안에 넓은 영역에 걸쳐 입자를 쉽게 식별 할 수 있습니다. 또한, 기계는 웨이퍼 표면의 전기 매개변수에서 변형을 감지, 계산, 측정, 분류 및 모니터링 할 수 있습니다. TENCOR 5500 Surfscan 도구에는 자동 검사, 패턴 인식, 다시 포맷, 복원, 분석 및 보고와 같은 기능이 포함 된 고급 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 데이터를 시각화하고, 웨이퍼의 결함을 쉽게 파악할 수 있습니다. 또한 Wafer Thinning, Review 및 Alignment를 위한 맞춤형 이미지 및 통계 분석 기능을 제공합니다. 고급 하드웨어 및 소프트웨어 외에도 5500 Surfscan 모델에는 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 도어의 이중 잠금 안전, 비상 차단 스위치 및 낙하 보호 장치가 포함됩니다. 또한, 장비 챔버는 먼지가 없도록 설계되어 반도체 웨이퍼의 먼지 없는 측정 및 분석을 가능하게합니다. KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 반도체 웨이퍼를위한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 광학 및 간섭계 (interferometric) 기능은 자동화된 소프트웨어 패키지와 함께 입자, 에치 피트, 톤 변형, 전기적 매개변수를 한꺼번에 정확하게 감지, 분석, 측정할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 먼지가 없고 안전한 테스트 환경을 보장하기위한 몇 가지 안전 조치가 포함되어 있습니다.