판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293815231

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 반도체 산업을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 신뢰성이 높으며 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 많은 매개변수를 자동으로 측정 할 수 있습니다. wafer testing 플랫폼, wafer handling robotics 및 automated data collection, analysis and reporting 툴로 구성됩니다. KLA 5500 Surfscan의 플랫폼은 레이저 간섭계를 사용하여 두께, 편평 및 편평 변화와 같은 웨이퍼의 치수 특성을 측정합니다. 다이오드 레이저 장치는 결함, 거칠기, 스텝 높이 등 웨이퍼의 표면 지형을 측정하는 데 사용됩니다. 프로그램 가능한 프로브 헤드는 전기 접촉 저항, 표면 전위 및 패턴 인식을 측정하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 테스트 플랫폼에는 오프라인 결함 검사 및 검토를위한 이미징 머신도 포함되어 있습니다. TENCOR 5500 Surfscan 도구의 웨이퍼 처리 로봇 (Wafer Handling Robotics) 은 웨이퍼의 로드 및 언로드 및 측정 점의 정렬을 허용합니다. "로봇 '공학 은 정확도 와 속도 를 유지 하면서 여러 가지 크기 의" 웨이퍼' 를 처리 하도록 설계 되었다. 5500 Surfscan 자산의 데이터 수집 및 분석 자동화 기능은 전체 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스에 대한 실시간 피드백 (feedback) 및 데이터 처리 기능을 제공합니다. 이 데이터는 사내에서 분석하거나 추가 분석을 위해 익스포트할 수 있습니다. 웨이퍼 테스트 결과에 대한 보고서는 완전히 자동화되고 간편합니다. KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 뛰어난 성능과 기능을 제공합니다. 이 모델은 견고하고, 안정적이며, 매우 정확하며, 빠른 처리 시간 및 향상된 프로세스 제어를 지원합니다. 이 장비는 쉽게 업그레이드할 수 있으며, 대부분의 환경에서 사용할 수 있으므로 반도체 웨이퍼 (wafer) 테스트에 적합합니다.