판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293767238
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KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 장치 구조의 정확한 심층 분석을 위해 설계된 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 품질 보증 솔루션 (Advanced Quality Assurance Solution) 은 전체 웨이퍼 표면의 결함을 빠르고 정확하게 감지, 측정, 파악하여 디바이스 제조 프로세스의 품질과 생산성을 향상시킵니다. KLA 5500 Surfscan 시스템은 정확하고 디지털화 된 스캔 및 처리를 사용하여 최대 3 차원 웨이퍼 이미지를 캡처합니다. 이 장치는 다양한 기능으로 웨이퍼를 검사하도록 설계되었습니다. 장치 기능을 정확하게 측정하는 고해상도 검출기 (High-Resolution Detector); 선형, 방사형 또는 각도 패턴으로 죽어가는 정확한 모션 제어; 자동 광학 오버레이 측정 및 결함 위치; 입자 및 표면 결함을 정확하게 식별하고 크기 조정하기위한 고속, 비 접촉 레이저 측정. 이 머신은 멀티 드웰 스캐닝 (multi-dwell scanning), 클러스터 분석, 지능형 결함 정렬, 다양한 사용자 정의 결함 지표 등 최첨단 기술을 제공하는 고급 이미지 처리 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기술을 통해 결함을 신속하게 파악하고, 정량적 결함 측정의 정확성을 높이고, 결함 세부 이미지 (detail image) 를 높일 수 있습니다. TENCOR 5500 Surfscan에는 장치 구조 및 장치 성능에 대한 자세한 분석을위한 다양한 강력한 분석 도구가 있습니다. 강력한 소프트웨어는 나노 (Nano) 및 분자 (Molecular) 스케일의 결함을 단순 패턴 위반에서 고급 실패 패턴에 이르기까지 감지, 측정 및 분류할 수 있습니다. 또한 전체 분석 결과 및 비교 차트로 여러 수준의 세부 (detail) 를 분석할 수 있는 사용자에게 친숙한 템플릿을 제공합니다. 종합적인 솔루션은 웨이퍼 제조 (wafer manufacturing) 를 위한 종합적인 품질 보증 툴을 제공하며, 이를 통해 사용자는 디바이스 구성요소의 처리량, 생산량, 신뢰성을 높일 수 있습니다. 또한, 자산은 다양한 조건에서 운영 될 수 있으며, 대부분의 프로덕션 프로세스와 호환되도록 인증되었습니다. 사용자는 5500 개의 Surfscan 모델을 사용하여 수상 경력에 빛나는 지원과 신뢰할 수 있는 현장 서비스 (On-Site Services) 를 통해 최고의 수준의 디바이스 품질 및 성능을 구현할 수 있습니다.
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