판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293616224

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 업계의 결함 검토, 결함 감지, 검사 등을 지원하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 입자 검사, 표면 이미징, 지형, 다이 간 (inter-die) 및 계층 간 결함 연구에 종합적이고 신뢰할 수있는 결과를 제공하여 웨이퍼 레벨에서 철저한 분석을 허용합니다. KLA 5500 Surfscan에는 1.4 Gigapixel, 1.3 Megapixel CMOS 이미징 검출기가 있으며 해상도는 12 jm입니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '표면 에 있는 모든 입자, 결함 및 기타 특징 들 을 정확 히 상상 할 수 있다. 이미징 장치는 통합 된 모터 웨이퍼 스테이지 (Motorized Wafer Stage) 내에 보관되어 있으며, 이는 결함 위치의 스캐닝/이미징/측정뿐만 아니라 입자와 결함을 정확하게 매핑 할 수있는 뛰어난 위치 정확성을 제공합니다. 또한, 기계는 내장 레이저 간섭계를 특징으로하여 웨이퍼의 정확한 프로브 및 스캐닝, 결함 위치의 정확한 매트릭스 표현을 보장합니다. Surfscan 5500은 2D 및 3D 이미징을 모두 사용할 수 있으며, 표면 지형의 정확한 특성을 제공합니다. 이것은 고해상도 결과와 정확한 측정을 제공하는 도구의 고급 (advanced) 알고리즘을 사용하여 수행됩니다. 이 소프트웨어에는 통계적 분석 (Automated Statistical Analysis) 및 그래프 도구 (Graphing Tools) 가 포함되어 있어 다른 위치와 다른 사이트 또는 제조업체의 결과를 쉽게 비교할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어는 손쉬운 데이터 스토리지와 Wafer 의 시각적 품질 검토 기능을 제공합니다. 전반적으로, TENCOR 5500 Surfscan 자산은 반도체 제조업체를위한 필수 불가결한 도구이며, 입자 검사, 표면 이미징 및 지형, 다이 간 및 층 간 결함 연구에 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 및 자동 분석 툴을 통해, 이 모델은 빠르고 정확한 품질의 검토를 가능하게 하며, 모든 웨이퍼 (Wafer) 제작 설비에 뛰어난 추가 기능을 제공합니다.