판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293594917

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 반도체 웨이퍼 제작에서 심각한 결함을 감지하고 평가하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 구덩이, 균열, 곡물 경계, 박막 및 잔류 물, 웨이퍼 두께 불균일 성, 뒤틀기 또는 활, 입자 오염 및 비저항 불균일 성을 포함한 광범위한 결함을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한, KLA 5500 Surfscan의 고급 기술은 전기 테스트 및 아트 워크 검사를 모두 지원하여보다 빠르고 정확한 결함 감지를 지원합니다. TENCOR 5500 Surfscan은 생산성을 위해 설계되었으며, 빠르고 직관적인 자동 측정 프로세스를 통해 반복적으로 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 수백 개의 센서와 스캐닝 단계 (scanning stage) 가 장착되어 있어 치수를 정확하게 측정할 수 있으며, 결함을 식별하고 분류하는 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 및 데이터 분석 알고리즘이 있습니다. 내장형 소프트웨어는 자동으로 웨이퍼를 정렬하고 결함 위치를 측정하여 시간당 최대 160 개의 웨이퍼를 신속하게 스크리닝할 수 있습니다. 이 기계는 또한 결함 감지 기능을 향상시키는 고급 컨투어 프로파일 (Advanced Contour Profile) 측정 시스템 (옵션) 을 갖추고 있으며, 서피스 프로파일 거칠기와 프로파일 형상, 스텝 높이, 오버 슈트 (over-and undershoot) 각도 등의 물리적 피쳐를 효율적이고 정확하게 측정할 수 있습니다. 5500 Surfscan은 결함 크기, 밀도 및 방향 결정을 돕기 위해 brightfield, darkfield 및 differential imaging을 포함한 여러 이미징 모드를 제공합니다. KLA/TENCOR 5500 Surfscan의 하드웨어는 여러 대의 카메라와 렌즈를 사용하여 구성 가능하며, 다양한 각도에서 이미지를 캡처하도록 구성할 수 있습니다. 이 도구에는 LED 및 수은 아크 램프를 포함한 다양한 조명 소스가 있으며, 외부 필터 큐브 (cube) 및 분광계 (spectrometer), 미니 사양 시스템 (mini-spec system), 디지타이징 모듈 (digitizing module) 과 같은 다양한 액세서리가 제공됩니다. 가열 단계 (heated stage) 를 통해 고온 환경에서 샘플을 분석할 수 있습니다. 또한, KLA 5500 Surfscan은 고급 소프트웨어 프로그램과 호환되어 정확성과 효율성을 극대화합니다. 여기에는 동적 분석 소프트웨어 (Dynamic Analysis Software), 흐름 소프트웨어 (Flowvision software) 및 커브-x 소프트웨어 (Curv-x software) 가 포함되며, 서피스 피쳐에 대한 종합적인 분석 및 보고, 프로파일 분석 및 결함의 크기 조정이 가능합니다. 이를 통해 프로세스 제어 및 모니터링을 적시에 피드백할 수 있으며, 시간 (turnaround time) 을 줄여 결함이 없는 생산을 보장할 수 있습니다.