판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293587041

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 정확한 웨이퍼 측정을 위해 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 패턴화된 웨이퍼 (patterned wafer) 와 패턴화되지 않은 웨이퍼 (unpatterned wafer) 의 형태와 프로파일을 측정하는 데 사용되는 정확도가 높은 비접촉 장치입니다. 자동화된 광 프로파일러 (Optical Profiler) 를 사용하는 이 기계는 소음이 매우 적고, 다양한 재료에 걸쳐 빠르고, 정확하게 스캐닝할 수 있습니다. KLA 5500 Surfscan은 비접촉 광학 현미경과 LSI (Proprietary Laser Scanning Interferometry) 도구를 사용하여 다양한 웨이퍼 재료를 측정합니다. LSI 에셋은 웨이퍼 (wafer) 지형의 3 차원 맵을 작성하여 가장 작은 피쳐의 서피스 피쳐를 검사, 분석, 보고 할 수 있습니다. 모델은 서피스 피쳐 모양과 높이를 10 나노미터까지 감지 할 수 있습니다. 표면 피쳐 모양과 높이를 측정하는 것 외에도 TENCOR 5500 Surfscan은 웨이퍼의 저항성을 측정합니다. 이 측정법 은 "와퍼 '의 전기 저항력 을 특징 짓는데 사용 되는데, 이것 은 전자 장치 의 기능 과 고장 에 중요 하다. 5500 Surfscan은 높은 정확도로 저항성을 측정 할 수 있으며, 특히 IC, 트랜지스터 및 기타 추적 가능한 부품에서 전압 변화를 감지하고 모니터링 할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5500 Surfscan에는 웨이퍼 데이터를 시각적으로 해석하고 분석 할 수있는 소프트웨어 응용 프로그램도 있습니다. 데이터를 빠르고 정확하게 플롯하고 해석함으로써, 사용자는 추가 연구 및 실험을 위해 웨이퍼 (wafer) 패턴을 더 잘 이해할 수 있습니다. 이 장비는 사용자 친화적이며, 보다 정확한 결과를 얻을 수 있도록 자동화된 운영을 지원합니다. 전반적으로 KLA 5500 Surfscan은 안정적이고 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 표면 피쳐 형태 및 저항성 검출 (detection of surface feature shapes and resistivity) 과 함께 고해상도에서 형태와 프로파일을 측정하는 기능은 반도체 설계 및 제조에 사용할 수있는 신뢰할 수있는 데이터를 제공합니다. 또한, 소프트웨어 애플리케이션은 유용한 시각적 분석 툴을 제공하여 사용자가 Wafer 데이터를 빠르고 쉽게 해석, 분석, 보고할 수 있도록 합니다. 따라서 TENCOR 5500 Surfscan은 반도체 산업에서 없어서는 안될 도구입니다.