판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #194942
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KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼에서 표면 (surface) 및 인터페이스 (interface) 결함을 감지하는 데 뛰어나며, 장치 엔지니어가 성능 특성을 정확하게 결정할 수 있도록 강력한 통계 데이터 분석을 제공합니다. KLA 5500 Surfscan 장치는 품질 보증, 수율 개선, 프로세스 특성, 장애 분석, 근본 원인 분석 등 웨이퍼 제작 프로세스 전반에 걸쳐 광범위한 애플리케이션에 사용됩니다. 이 머신은 다양한 웨이퍼 (Wafer) 크기와 어플리케이션에서 고성능 (HPC) 을 제공하여 최고의 품질 제어를 보장합니다. TENCOR 5500 Surfscan (TENCOR 5500 Surfscan) 도구를 통해 제조업체는 웨이퍼에서 표면 및 인터페이스 결함을 신속하게 감지할 수 있으며, 최종 장치의 품질에 영향을 줄 수 있습니다. SWLI (Scanning White Light Interferometry), MACE (Multi Angle Convergent Beam Electron Diffraction) 및 SEM (Scanning Electron Microscopy) 의 세 가지 주요 기술을 통해 빠르고 정확한 테스트를 수행할 수 있습니다. SWLI는 표면 및 인터페이스 모양에서 가장 작은 미묘한 변형을 감지하여 빠르고 매우 민감한 웨이퍼 (wafer) 표면 도량형을 제공합니다. 메이스 (MACE) 는 허위 결함 감지를 줄이며, 다양한 기술의 계면 특성을 특성화하는 데 사용될 수 있습니다. 마지막으로, SEM은 도펀트 범위가 부족하거나 접촉 범위가 좋지 않은 것과 같은 구조적 결함을 자동으로 탐지합니다. 또한 5500 Surfscan 자산은 엔지니어가 허위 거부를 피하고 성능 특성을 정확하게 결정할 수 있도록 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 여기에는 통계 데이터 분석, 맞춤형 프로세스 및 실시간 결함 탐지가 포함됩니다. 이 기능은 제조업체가 같은 종류의 결함 웨이퍼 (wafer) 를 다시 만드는 자원 (resource) 을 낭비하지 않도록 결함을 쉽게 감지하고 진단합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 현대 반도체 제조에서 귀중한 도구입니다. 이 제품은 다양한 고급 기술을 하나의 종합적인 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 모델로 완벽하게 혼합하여 효율성을 극대화하고 장치 엔지니어가 성능 특성을 정확하게 파악하고 위험한 결함을 감지할 수 있도록 지원합니다.
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