판매용 중고 KLA / TENCOR 5300 #9350994
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KLA/TENCOR 5300 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 다중 축, 자동 스캐닝 시스템으로, 기하학적 특성, 사진, 필름 두께, 전기 특성, 필름 스트레스 및 전하를 포함한 웨이퍼의 여러 속성을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 자동 도구와 소프트웨어 제품군으로, 웨이퍼 결함을 측정, 찾기, 정량화할 수 있습니다. 각 기능은 6 인치 ~ 300mm 웨이퍼에 이르는 다양한 기판에서 작동하도록 설계되었습니다. KLA 5300 에는 특허를 획득한 빔 스위칭 기능이 있는 고속, 레이저 기반 스캐닝 헤드 (scanning head) 가 포함되어 있어 스캐닝 시 다른 레이저 파장 사이를 신속하게 전환할 수 있습니다. 이러한 고유한 설계를 통해 샘플의 서피스 특성, 성능, 균일성을 동시에 정밀하게 측정할 수 있습니다. 이 기계에는 태양 광 이미징 장치 (단색 카메라) 를 사용하여 물리적 결함, 참호 및 생산 물질 비 균일 이미지를 캡처하는 반면, 온보드 표면 도량형 도량형 도구는 필름 두께와 필름 스트레스 및 이동성과 같은 특성을 측정합니다. TENCOR 5300에는 직관적인 사용자 인터페이스와 설치와 작동을 단순화하는 소프트웨어 제어 계측기 (Software-controllem instrumentation) 가 장착되어 있습니다. 이 도구는 이미지의 3D 디스플레이 (3D display) 를 표시하며, 연산자가 샘플의 결함을 빠르게 찾아서 측정할 수 있습니다. 이 자산은 사용자 친화적 (user-friendly) 으로 설계되었으며 사용자의 개별 요구를 충족하도록 쉽게 구성하고 프로그래밍할 수 있습니다. 5300은 가장 안정적이고 현대적인 기술로 제작되었으며, 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수 있는 물리적 케이싱 (physical casing) 기능을 갖추고 있습니다. 또한 샘플 추적, 추적 가능성, 반복 가능성 및 재생성을 위해 자동화 된 모델이 있습니다. 이를 통해 여러 샘플에서 각 측정이 정확하고 반복 가능해질 수 있습니다. KLA/TENCOR 5300 (KLA/TENCOR 5300) 은 그 측정에서 탁월한 유연성과 정확성을 제공하며 최신 기술로 지속적으로 개선되고 업데이트되고 있습니다. 최신 업그레이드에는 고온 및 압력, 고속, 넓은 영역 샘플, 초박막 측정 등의 기능이 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 KLA 5300은 웨이퍼 테스트 및 도량형에 사용할 수 있는 최적의 선택이 됩니다.
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