판매용 중고 KLA / TENCOR 5300 #9205449
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판매
ID: 9205449
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Overlay measurement system, 8"
Control console:
Console PC
Monitor
keyboard and mouse(Track ball)
Video printer
Sub storage device(CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection staion:
Mainbody stage
X&Y chuck stage
Optic
Power & signal cables
Components name:
Line conditioner
Handler
Console PC
DSW
Included:
Site preparation manual
Operation manual
Customer logbook
Backup floppy
Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P
Manual included
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300은 고급 반도체 장치 개발, 제조 및 수리를 위한 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 최대 150mm (6 ") 웨이퍼를 보호하기 위해 자동화된 양면, 이중 측면, 수직 동작 웨이퍼 핸들러가 있습니다. 고유하게 설계된 가속기 레일은 빠른 정렬 및 정확한 도량형 측정 및 이미징을 위해 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 의 속도를 높이고 속도를 낮춥니다. KLA 5300의 GgaView9 검출기는 고급 표면 분석을 수행하기 위해 각 다이 위치에 정확하게 입사하는 3 개의 고강도 레이저를 배포합니다. 이를 통해 ProAutofinder에 의해 촉진되는 비파괴 이미징 (non-destructive imaging) 및 다크필드 이미징 (darkfield imaging) 을 사용하여 실시간 스캔을 통해 이미징할 다이, 대상 위치 및 추적 경로를 자동으로 검색할 수 있습니다. 또한 장치의 PPG (Pulse Pattern Generator) 는 광범위한 측정 매개 변수에서 작은 크기에서 큰 다이 크기까지 맞춤형 TFT 솔루션을 지원합니다. DEXIE (Data Expert Interval Explorer) 를 갖춘 사용자 친화적인 소프트웨어 환경은 작업을 단순화하고 기능 제한, 히스토그램 등의 통계 분석 기능을 제공합니다. 또한, 이 기계는 wafer 맵 분석을 위해 여러 선택 도구를 지원하여 품질 제어를 보장합니다. 강력한 웨이퍼 측정 및 도량형 성능을 갖춘 TENCOR 5300은 고급 웨이퍼 (Wafer) 제작 및 장치 개발을 위한 고속, 비용 효율적인 솔루션입니다. 업계 최고의 측정 성능과 직관적인 사용자 친화적 (user-친화적) 소프트웨어를 결합한 이 툴은 빠르고 안정적인 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 자산의 광범위한 기능과 기능, 품질 관리 팀 (Quality Control Team) 은 웨이퍼 (Wafer) 의 생산 및 복구에서 정확하고 반복적으로 측정 할 수 있습니다.
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