판매용 중고 KLA / TENCOR 5300 #9205445
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판매
ID: 9205445
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Overlay measurement system, 8"
Control console:
Console PC
Monitor
keyboard and mouse (Track ball)
Video printer
Sub storage device (CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection staion:
Mainbody stage
X&Y chuck stage
Optic
Power & signal cables
Components name:
Line conditioner
Handler
Console PC
DSW
Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P
Manuals included
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 (KLA/TENCOR 5300) 은 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 사용자에게 집적 회로, MEM, 태양 광 발전 및 기타 웨이퍼 수준 구성 요소를 빠르고 정확하게 분석 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 최첨단 시스템은 개발 및 문제 해결 요구에 이상적인 도구입니다. KLA 5300은 전기, 물리적 및 화학적 웨이퍼 층을 정확하게 측정합니다. 전기 테스트를 수행하고, 미세한 이미지를 검사하고, 광학 측정을 수행합니다. 이 장치는 0.2 m의 작은 기능을 감지하기에 충분히 민감합니다. TENCOR 5300에는 특수 모터, 카메라, 조명 시스템 및 기타 여러 가지 최첨단 도구가 포함되어 있습니다. 예를 들어, 모터는 웨이퍼가 놓이는 스테이지를 제어합니다. "웨이퍼 '의 여러 부분 을 조사 할 수 있도록 기계 를 가로질러" 스테이지' 를 움직 일 수 있다. "카메라 '는" 웨이퍼' 의 "이미지 '를 찍어 다양 한 배율 로 여러 가지 기능 을 연구 할 수 있게 한다. 또한, 조명 도구를 사용하면 테스트 프로세스 중에 샘플 웨이퍼를 관찰 할 수 있습니다. 5300에는 웨이퍼의 전기 특성을 측정하기위한 많은 프로브도 포함되어 있습니다. 이 프로브는 전류, 전압, 정전 용량 및 누출을 측정 할 수 있습니다. 프로브는 커패시턴스 (capacitance), 저항 (resistivity) 및 전압 클램프 (voltage clamp) 함수의 다양한 조합으로 묶여 서로 다른 전기 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 자산에는 소프트웨어 (software) 가 설치되어 독점 모듈에 필요한 원시 데이터 (raw data) 를 생성할 수 있습니다. 이 모듈은 독점 알고리즘을 사용하여 수집된 데이터를 해석하고 보고서를 생성합니다. 이 보고서에는 웨이퍼 (wafer) 의 특성에 대한 귀중한 정보가 포함되어 있으므로 더 나은 구성 요소를 문제 해결하고 설계하기 쉽습니다. KLA/TENCOR 5300은 최신 고정밀도 측정 및 분석을 제공하는 인상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 장비는 집적 회로, MEM 및 기타 웨이퍼 레벨 컴포넌트를 분석, 개발하려는 사람들에게 귀중한 도구입니다.
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