판매용 중고 KLA / TENCOR 5300 #9072400

KLA/TENCOR 5300은 반도체 및 MEMS 산업을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 탁월한 정확성과 데이터 수집 (Data Collection) 기능을 제공하여 이전 어느 때보다 작은 결함 및 구조를 감지하고 평가할 수 있습니다. 이 시스템은 통합 인텔리전스 (Unified Intelligence) 와 같은 고급 기술과 일련의 고유한 도구를 사용합니다. 이렇게 하면 크로스오버, 연결 끊기, 간격 등 기존의 결함 및 까다로운 결함을 모두 식별할 수 있습니다. 이 솔루션은 또한 라인 에지 거칠기 (line edge roughness) 및 회절 격자 (diffraction grating) 와 같은 어려운 구조에 대한 이미지 처리 및 분석을 제공합니다. KLA 5300의 성능은 고유한 검출기, 조합기 및 스캔헤드를 통해 가능합니다. 전용 광 구성, 고급 옵틱, 소프트웨어 제어 기능을 활용합니다. 이러한 기술을 통해 유닛은 뛰어난 균일성을 갖춘 반복, 신뢰성 있는 데이터를 생성 할 수 있습니다. 또한 20nm 이상의 향상된 광학 해상도를 제공합니다. 기계의 자동 교정 및 분석 기능은 정확도를 높이고 시간을 줄이는 데 도움이됩니다. 와이드 필드 검사를 통해 미묘하고 큰 결함을 더 빨리 감지 할 수 있습니다. 이 도구의 강력한 데이터 분석 알고리즘을 사용하면 라인 서명 (Line Signature) 및 결함 분류를 자동으로 측정할 수 있습니다. TENCOR 5300은 또한 다양한 고급 도량형 솔루션을 제공합니다. 여기에는 선형, 균일성 및 포토 esist 두께에 대한 자동 측정이 포함됩니다. 자산의 결함 검토를 통해 항복 분석, 리소그래피 장애 분석, 오염 물질 탐지를 위한 자동화된 결함 분류도 가능합니다. 모델의 도량형 솔루션 제품군은 운영 품질을 모니터링하는 데 이상적입니다. 이 장비는 업계 최고의 표준의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 안정성이 높고 유지 보수가 불가능하며, 강력한 기능 감지, 확장된 동적 범위, 폭넓은 시야를 제공합니다. 5300은 신뢰할 수 있는 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 비용 효율적이고 정확한 솔루션입니다. 광범위한 프로세스 제어 및 고급 도량형 애플리케이션에 적합합니다.