판매용 중고 KLA / TENCOR 5200 #9299363

ID: 9299363
Overlay measurement system (2) VS46K-EA Digital VAX station 4000 60 CPU KA4A (2) FR-925WW-CD Digital venturis 5100 PC Included.
KLA/TENCOR 5200은 높은 정밀도, 뛰어난 성능 및 정확성을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 차원, 공정 중 및 공정 후 웨이퍼 도량형에 중점을 둔 KLA 5200은 뛰어난 측정 및 반복성을 제공하는 뛰어난 웨이퍼 포커스 컨트롤을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 실리콘 및 갈륨 비소 (gallium arsenide) 를 포함한 다양한 기질에서 나노 미터, 서브 미크론 및 미크론 레벨 기능을 측정하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 고해상도, 고속 이미징 및 초점 현미경 기능을 제공합니다. TENCOR 5200에는 중요한 기능, 기능 크기, 라인 너비, 평면도 등 다양한 테스트 매개변수를 측정, 분석, 검사하기 위해 센서와 프로브 카드를 선택할 수 있습니다. 또한이 장치는 Photomask/Stencil Inspection, Sidewall Imaging, 3D Topography 및 Thin Film Analysis와 같은 다양한 스캔 기술로 제공됩니다. 다양한 구성 가능 옵션 (Configurable Options) 을 통해 모든 고객의 요구 사항에 맞게 시스템을 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 도구는 측정, 스캔, 이미징, 정렬을 위한 다양한 옵션을 제공하여 가장 복잡한 모양과 윤곽선 (contour) 까지 측정할 수 있습니다. 또한 5200 에는 모든 유형의 웨이퍼 특성을 분석, 제어, 보고하는 강력한 툴셋이 장착되어 있습니다. 여기에는 엔지니어가 테스트 결과를 빠르게 검토하고 분석할 수 있는 시각적 보고 (Visual Reporting) 기능이 포함되어 있습니다 (사용자 친화적 형식). 또한, 자산에는 가장 대표적인 데이터 배치를 정의하고 캡처하는 데 도움이 되는 Automation Sampling Planner (자동화 샘플링 플래너) 가 있습니다. 또한 원격 진단을 통해 사용자는 모델을 원격으로 문제 해결, 진단, 제어할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5200은 업계에서 가장 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. 탁월한 성능, 정확성, 신뢰성, 정밀도, 세부적인 분석 (detailed analysis) 을 필요로 하는 모든 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.
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