판매용 중고 KLA / TENCOR 5200 #9233117

KLA/TENCOR 5200은 반도체 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 에 탁월한 정확성과 속도를 제공하여 시장에서 가장 진보된 도량형 장치 (Metrology Unit) 입니다. KLA 5200은 컴팩트한 디자인으로 200mm 또는 300mm 제조 라인에 장착 할 수 있습니다. 또한 고급 소프트웨어 패키지와 하드웨어 아키텍처 (하드웨어 아키텍처) 를 통해 웨이퍼 샘플링을 위한 탁월한 성능을 제공합니다. 이 기계는 실리콘, 갈륨 비소, 산화 알루미늄 및 기타 재료를 포함하여 여러 기질을 동시에 테스트 할 수 있습니다. TENCOR 5200은 광학 산란법 (optical scatterometry) 과 간섭법 (interferometry) 을 사용하여 다양한 레이어, 프로세스 및 단계에서 웨이퍼 매개변수를 정확하게 측정합니다. wafer 및 관련 기술의 광학, 전기, 물리적, 화학적 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 그런 다음, 툴에 의해 데이터를 수집하고 분석, 품질 표준 유지. 자산은 5200의 현장 컴퓨팅 (on-site computing) 기능의 도움을 받아 웨이퍼 (wafer), 프로세스 (process) 또는 기판 (substrate) 을 실시간으로 조정하여 결함을 개선할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 성능에서 동적 트렌드를 인식 할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5200은 내보내기 가능한 자동 도량형 보고서, 결함 기능을 보여주는 전송 전자 현미경 (TEM) 이미지, 웨이퍼 재료의 단면 이미지를 생성합니다. KLA 5200 은 향상된 수율 관리, 광범위한 지원 애플리케이션, 원격 제어 기능 등 다양한 이점을 제공합니다. 즉, 모듈식 설계를 통해 부품을 다른 제조업체의 구성 요소로 쉽게 교체하거나 업그레이드할 수 있습니다. 이 모델은 업계 표준 인터페이스와 호환되므로 운영 제어 (Production Control) 및 데이터 수집 시스템 (Data Collection System) 과 통합됩니다. 전반적으로, TENCOR 5200 (TENCOR 5200) 은 많은 기능을 제공하는 고급적이고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 수많은 기판, 레이어, 프로세스 (process) 에 걸쳐 광범위한 매개변수를 정확하게 측정할 수 있으며, 웨이퍼 성능에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 이 시스템은 사용자에게 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 Wafer 및 관련 기술을 측정, 테스트, 분석하는 방법을 제공하여 반도체 제조에 유용한 툴이 됩니다.