판매용 중고 KLA / TENCOR 5200 #9113826
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KLA/TENCOR 5200 (KLA/TENCOR 5200) 은 고급 반도체 제조 단계에서 중요한 프로세스에서 뛰어난 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 제조업체는 이 시스템에 의존하여 작은 결함을 파악하고, 비용을 절감하며, 수익률을 높입니다. 웨이퍼가 KLA 5200의 이미징 모듈에 배치되면 레이저 (laser), 탐지기 (detector) 및 광학 (optics) 단위는 웨이퍼 표면의 다양한 피쳐 크기를 측정합니다. "레이저 '빛 은" 샘플' 위 로 향한 다음 광다이오드 '나 "CCD' 탐지기 에 의하여 수집 되고 기계 의" 컴퓨터 '하드웨어 에 의하여 분석 된다. 이를 통해 웨이퍼 피쳐를 정확하고 정량적으로 측정 할 수 있습니다. 이 정보는 보고, 그래픽 출력, 수정 작업을 위한 다양한 형식으로 제공됩니다. TENCOR 5200 은 다양한 사용자 구성 가능한 하드웨어/소프트웨어 옵션을 갖추고 있어 모든 제조 환경의 요구 사항을 충족하는 다양한 애플리케이션 (애플리케이션) 의 유연성을 제공합니다. 여기에는 입자 감지, 오버레이, 뒷면 도량형 및 기타 프로세스를 다루는 다양한 도량형 헤드가 포함됩니다. 이러한 각 시스템은 측정 프로세스를 최적화하도록 설계되었으며, 모듈식 (modular) 설계는 다운타임 및 유지 보수 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다. 이 도구는 또한 생산 재료를 자동으로 측정, 분석 및 수리 할 수 있습니다. 이렇게 하면 빠르고 정확한 프로세스 제어를 통해 제조 라인의 성능을 최적화할 수 있습니다. 파퍼 (wafer) 표면의 결함을 분석하고 원인을 식별하는 데에도 사용될 수 있습니다. 이 자산은 다른 시스템과 연동하여 리버스 엔지니어링 (Reverse Engineering) 기능을 사용할 수 있으므로 기존 웨이퍼를 기반으로 설계를 만들 수 있습니다. 마지막으로, 5200은 직관적인 사용자 인터페이스로 인해 향상된 사용자 경험을 제공합니다. CAD 데이터를 쉽게 가져오고 내보낼 수 있으므로 부품 작성을 쉽게 수행할 수 있습니다. 인체 공학적 디자인은 또한 오랜 시간 일하는 운영자에게 유익하며, 생산성 수준을 높입니다. KLA/TENCOR 5200 (KLA/TENCOR 5200) 은 반도체 산업의 제조 공정을 촉진하는 데 도움이되는 정확하고 안정적인 결과를 제공 할 수있는 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 고급 하드웨어/소프트웨어, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 사용자 환경을 향상시켜, 모든 제조 환경에 완벽하게 추가할 수 있도록 설계되었습니다.
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