판매용 중고 KLA / TENCOR 5200 #293811583

KLA / TENCOR 5200
ID: 293811583
웨이퍼 크기: 6"
Overlay measurement system, 6".
KLA/TENCOR 5200은 최고 수준의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 제조 실험실 및 기타 테스트 및 측정 센터 (testing and measurement center) 에 의해 사용되어 다양한 반도체 웨이퍼 매개변수를 빠르고 정확하게 측정합니다. 이 시스템은 물리적 크기 (physical size), 전기적 특성 (electrical properties) 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 검사 할 수 있으며, 각 웨이퍼는 적용에 따라 최대 28 개의 측정을 거칩니다. 이 장치는 후속 처리에 오류가 발생할 수 있는 특성을 식별할 수 있습니다. 이 기계에는 직경 300mm까지의 웨이퍼를 볼 수있는 고급 광학 장치 (optics) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 도구가 더 작은 웨이퍼의 복잡한 패턴을 명확하게 검사할 수 있습니다. 자산의 일부인 카메라에는 5 개의 고해상도 디지털 프레임이 장착되어 있으며, 이는 최대 6 미크론 (micron) 의 기능을 감지 할 수 있습니다. 이 모델에는 특정 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 더 잘 분석할 수 있도록 설정을 조정할 수 있는 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이러한 설정은 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 조정할 수 있습니다. 또한 KLA 5200 에는 수집된 데이터를 안전하게 저장하는 고급 데이터 수집 장비가 있습니다. 정교한 계산을 빠르고 정확하게 수행할 수 있는 강력한 알고리즘을 통해 데이터 분석 (data analysis) 을 수행할 수 있습니다. 이것은 생산 프로세스의 결함을 식별하고 예방하는 데 도움이됩니다. 이 시스템에는 먼지가 밀착된 인클로저 (dust-tight enclosure) 와 동작 센서 (motion sensor) 를 비롯한 안전 기능이 내장되어 있어 부근에서 갑작스런 움직임을 감지할 수 있습니다. 이것은 운영자와 장치의 안전을 보장합니다. 또한, 이 기계는 과열 방지를 위해 다양한 유형의 냉각 시스템과 호환됩니다. 전반적으로, TENCOR 5200은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 툴로, 제조업체가 제품의 품질을 높이고 생산 비용을 절감할 수 있도록 도와줍니다. 이 자산은 웨이퍼 (wafer) 특성에 대한 정확한 분석을 제공하고, 생산 과정에서 문제를 일으키기 전에 잠재적 결함을 감지하는 데 도움이 됩니다.
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