판매용 중고 KLA / TENCOR 5200 #293808764

ID: 293808764
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200은 생산량 증대, 운영 비용 절감, 프로세스 제어 향상을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 자동 웨이퍼 테스트 (automated wafer testing) 및 분석을 통해 프로세스 문제를 파악하고 전체 레이어 생산을 최적화할 수 있습니다. KLA 5200 의 통합 하드웨어/소프트웨어 패키지는 높은 처리량 웨이퍼 (wafer) 테스트를 제공하며, 신속하고 정확하며 유지 보수가 최소화되도록 설계되었습니다. 자동 인라인 웨이퍼 처리 시스템 (inline wafer handling system) 을 통해 웨이퍼를 쉽고 효율적으로 로드, 처리 및 언로드할 수 있습니다. 또한 자체 웨이퍼 테스트 소프트웨어 (Wafer Testing Software) 를 통해 빠르고 신뢰할 수 있는 테스트 데이터를 제공합니다. 따라서 운영자의 결과에 대한 자신감이 높아집니다. TENCOR 5200은 저전력, 로우 프로파일 장치에서 실행됩니다. 즉, 사용자가 직접 콘솔을 사용하지 않는 GUI 를 포함하며 거의 모든 주요 데이터베이스 플랫폼과 호환됩니다. 또한 패턴 인식, Photomask 검사, 필름 도량형 및 결함 검사와 같은 다양한 고급 기술을 제공합니다. 5200은 현미경적 결함과 구조적 왜곡을 웨이퍼에서 감지하고 분류 할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5200 소프트웨어는 또한 웨이퍼 상단 및 하단 이미지 분석을 지원합니다. 다양한 LED 조명 옵션을 갖춘 강력한 광학 머신과 최대 200mm 웨이퍼의 고해상도, 저소음, 고속 이미징을 갖춘 테스트 솔루션을 제공합니다. KLA 5200 기술은 테스트 및 도량형을 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이 도구를 사용하면 생산 (production) 을 최적화하고 수율을 늘리기 위해 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링, 평가합니다. 또한 품질 관리 (Quality Control) 를 위한 운영 단계 모니터링 및 추적을 위한 강력한 소프트웨어 툴도 제공합니다.
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