판매용 중고 KLA / TENCOR 5200 #293624519

ID: 293624519
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200은 반도체 산업의 고급 프로세스 제어 및 제품 개발에 사용되는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 최첨단 장치 (state-of-the-art unit) 는 통합 테스트 및 분석 기능을 제공하여 웨이퍼 시작부터 웨이퍼 마무리까지 효율적인 웨이퍼 테스트를 가능하게 합니다. 이 시스템에는 WMT (Wafer Matrix Test) 스테이션, 내장 스캔 전자 현미경 및 고급 이미지 분석 도구가 장착되어 있습니다. WMT 장치는 최대 7 개의 다른 레이어 (단일 웨이퍼) 로 구성된 고해상도 이미지를 제공하며 신속한 의사 결정을 가능하게 합니다. KLA 5200 은 무중단 테스트와 고급 이미지 분석 (Advanced Image Analysis) 을 결합하여 몇 분 안에 결함을 정확하게 파악할 수 있습니다. 스캐닝 전자 현미경은 각 층의 매우 상세한 3 차원 그림을 제공하여 WMT (WMT) 가 생성 한 2 차원 이미지에서 효과적으로 볼 수있는 것보다 더 깊은 결함의 존재를 감지합니다. 각 층을 자세히 분석함으로써, 기계는 나노 미터 수준의 구조를 정확하게 식별하고 구별 할 수 있습니다. 통합 CDS Image Analysis 소프트웨어는 모든 고급 측정, 분석, 결함 식별 기능을 제공합니다. 따라서 운영자는 브리지 결함, 라인 결함, 접촉 구멍, 기타 기능과 같은 중요한 기능을 빠르고, 정확하게 식별하고 현지화할 수 있습니다. TENCOR 5200은 운영자에게 웨이퍼 테스트 프로세스를 완전히 제어하도록 설계되었습니다. 이 툴은 매우 구성 가능하므로 운영자가 검사 기준을 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다 (영문). 또한 더 정확하고 세밀한 결함 감지를 위해 조절 가능한 감도를 제공합니다. 또한, 자산에는 전체 프로세스를 간소화하는 종합적인 매개변수 및 알고리즘 라이브러리가 포함되어 있습니다. 5200은 R&D 실험실과 프로덕션 환경 모두에 적합합니다. 자원의 일관되고 안정적인 결과와 효율적인 활용을 보장합니다. KLA/TENCOR 5200은 혁신적인 하드웨어, 고급 이미지 처리 (Advanced Image Processing) 및 효율적인 사용자 인터페이스를 결합한 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로서, 보다 빠르고 효과적인 의사 결정 기능을 제공합니다.
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