판매용 중고 KLA / TENCOR 5200 #293597899

KLA/TENCOR 5200은 반도체 제조 산업에 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 제조 과정에서 다양한 비파괴적 품질 보증 (non-destructive quality assurance) 및 웨이퍼에 대한 제어 테스트를 수행 할 수있는 다차원 시스템입니다. KLA 5200 은 광학 (optical) 과 간섭계 (interferometric) 측정 기술을 결합하여 반도체 장치와 재료의 정확하고 반복 가능한 측정을 제공합니다. 넓은 시야와 조정 가능한 조명을 갖춘 자동화된 다차원 이미징 장치 (automated, multi-dimensional imaging unit) 를 통해 와퍼 피쳐의 정확한 정렬과 정확한 분석을 보장합니다. 또한, 컴퓨터에는 사용자 오류를 줄이고 안정적인 결과를 보장하기 위한 자동 정렬 (automatic alignment) 및 조정 (calibration) 기능이 있습니다. TENCOR 5200은 임계 트렌치 너비, 임계 경유 (critical via diameter), 임계 코너 반지름 (critical corner radius) 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한 감지할 서피스 결함 라이브러리가 내장되어 있으며, 비표준 피쳐에 대한 패턴 인식 (pattern recognition) 기능이 있습니다. 이 툴에는 고급 데이터 처리 (advanced data processing) 기능이 장착되어 있어 여러 시점의 데이터를 신속하게 분석하고, 매개변수를 수동으로 조정하여 결과를 최적화할 수 있습니다. 데이터는 여러 형식으로 익스포트할 수 있으며 내장형 이더넷 (Ethernet) 연결을 사용하여 네트워크나 인터넷을 통해 전송됩니다. 5200은 신뢰성이 높고 정확한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 자산 (metrology asset) 으로 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 또한 WAR (Wafer for Defect) 을 신속하게 검사하고 분석할 수 있는 기능과 디바이스 성능에 영향을 미치는 중요한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 반도체 제조 환경 (빠른 진단, 정확한 분석) 에서 사용할 수 있습니다.