판매용 중고 KLA / TENCOR 5107 #9120918

ID: 9120918
Inspection systems.
KLA/TENCOR 5107 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 웨이퍼의 정확한 측정, 테스트 및 특성화가 가능한 고급 기술입니다. 이 시스템은 고급 광학 및 마이크로센서를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 표면에서 미세한 결함을 감지하고 물리적 특성을 측정합니다. 이 단위 는 높은 진공 상태 에서 작동 하여, 측정 을 방해 할 수 있는 먼지 입자 를 모두 제거 한다. 그렇다. KLA 5107 머신에는 통합 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 가 있어 웨이퍼가 3 차원으로 이동하여 더 정확한 측정 및 테스트가 가능합니다. 통합 측정 암 (Integrated Measurement Arm) 에는 한 번에 여러 조각의 웨이퍼를 측정 할 수있는 센서 배열이 있습니다. 자산은 고급 분석 소프트웨어 (advanced analysis software) 를 사용하여 센서에서 수집한 데이터를 분석하고 자세한 웨이퍼 맵 및 프로세스 보고서를 생성합니다. TENCOR 5107 모델은 다른 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템에 비해 다양한 이점을 제공합니다. 고급 옵틱과 내장형 웨이퍼 (wafer) 처리 장비로 인해 결함이 작아질 수 있습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 의 두께 변화를 측정하고 반도체 소자의 성능에 영향을 줄 수있는 표면 장력 (surface tension) 과 접착 (adhesion) 의 특성을 포착 할 수 있습니다. 5107 시스템에는 PC 및 모바일 장치에서 액세스할 수 있는 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 포함되어 있어 측정 및 테스트 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 장치는 기존 소프트웨어, 데이터베이스와 손쉽게 동기화할 수 있으므로 기존 운영 파이프라인에 원활하게 통합할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5107 머신은 클린 룸 (Clean Room) 환경에서 작동하도록 특별히 설계되었으며 이 환경에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 도구에는 고효율 공기 냉각 자산, 정제 모델, 진공실 (vacuum chamber) 이 장착되어 있어 성능을 향상시키고 오염 위험을 줄일 수 있습니다. 이 장비는 또한 웨이퍼 (wafer) 를 측정하고 테스트하는 데 필요한 인건비를 줄여 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 자동 시스템 (예: KLA 5107) 은 테스트 주기가 빨라지며 수동 프로세스보다 정확합니다. 또한 오류와 결함으로 인한 비용을 줄일 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR 5107 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 반도체 웨이퍼를 측정 및 테스트하기위한 고급적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 장치는 다른 도량형 시스템 (예: 작은 결함, 사용자 친화적 인 인터페이스, 자동 프로세스) 에 비해 수많은 이점을 제공합니다. 비용 및 시간을 절약 할 수 있습니다.
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