판매용 중고 KLA / TENCOR 5107 #9117500

KLA/TENCOR 5107 Wafer Testing and Metrology Equipment는 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 측정을 위해 설계된 고급 멀티 채널 시스템입니다. 이 벤치탑 장치는 패턴화 된 웨이퍼 결함 검사, 3D 도량형, 선 너비 측정, 임계 치수 (CD) 검사 등 다양한 기능을 제공합니다. KLA 5107은 다양한 소재에 대해 1:200 이상의 소음 대비 명암비를 달성하는 고해상도 이미징 머신 (high-resolution imaging machine) 을 사용하며, 인쇄 및 에칭을 모두 지원합니다. 이 도구의 기능에는 동작 제어를 위한 디지털 서보 모듈 (digital servo module for motion control), 향상된 웨이퍼 처리를 위한 다중 채널 통합 플랫폼 (multi-channel integration platform), 정확한 결과를 위한 매우 빠른 데이터 획득 모듈도 포함됩니다. Wafer 처리는 자동으로 수행되므로 수동 처리가 필요하지 않습니다. TENCOR 5107에는 분석을위한 고급 알고리즘이 있으며 정확한 측정이 가능합니다. 결과적으로, 자산은 0.2nm의 정확도로 10 nm 정도의 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 최대 20nm 의 정확도로 패턴 배치를 측정할 수 있으며, 라인 너비 기술의 세부 크기 축소 (반도체 제조 세계의 핵심 요소) 도 측정 할 수 있습니다. 5107 에는 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형과 관련된 여러 단계를 간소화하는 고급 자동화 (automation) 도구도 포함되어 있습니다. 자동화된 장비 (Automated Equipment) 는 단일 작업으로 측정을 감지, 복제, 분석할 수 있으므로 수동 처리가 필요 없습니다. 데이터 분석 (data analysis) 에 필요한 시간과 노력을 줄여 가장 빠른 테스트/측정 시스템 중 하나입니다. KLA/TENCOR 5107은 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구를 위한 고급 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 자동화, 고해상도 이미징, 고급 분석 도구의 독보적인 조합으로, 매우 정확하고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 또한 멀티채널 통합 허브 (multi-channel integration hub) 와 매우 빠른 데이터 획득 모듈 (fast data acquisition module) 은 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 측정이 필요한 모든 애플리케이션에 적합합니다.