판매용 중고 KLA / TENCOR 5107 #293628543

KLA / TENCOR 5107
ID: 293628543
Inspection system.
KLA/TENCOR 5107 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 자동화된 광학 및 표면 도량형 기술과 정밀 웨이퍼 테스트를 결합한 혁신적인 도구입니다. KLA 5107은 높은 정확도의 디지털 카메라, 정밀 단계, 통합 광학 이미징 및 처리 알고리즘을 사용하여 이미지 기반 표면 검사 및 분석 기능을 제공합니다. TENCOR 5107 (TENCOR 5107) 은 웨이퍼 표면을 분석할 때 전례없는 수준의 데이터를 세분화할 수 있는 고급 이미지 처리 알고리즘을 제공합니다. 이 시스템은 미세 결함, 표면 텍스처 및 모양 측정뿐만 아니라, 매우 민감한 웨이퍼 프로세스 관련 변형을 식별 할 수 있습니다. 이러한 정밀도 수준을 통해 5107 은 완성된 제품의 전체 품질 (quality) 에 큰 영향을 미칠 가능성이 있는 프로세스 문제를 파악할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5107은 또한 최대 0.1 미크론의 빠르고 반복 가능한 도량형 해상도와 최대 5mm x 5mm의 시야를 제공합니다. 이를 통해 다양한 웨이퍼 크기와 형상을 테스트, 평가할 수 있습니다. 또한, KLA 5107은 통합 프로세스 제어 및 데이터 동기화를 위해 다른 시스템과 통합됩니다. 이 통합을 통해 유닛은 실시간으로 결과를 지속적으로 모니터링하고 업데이트할 수 있습니다. TENCOR 5107은 생산 라인 및 R&D 실험실에서 사용하도록 설계되었습니다. 점차, 두 산업 모두 웨이퍼 품질에 대한 정확하고, 반복 가능하며, 일관된 측정이 필요하며, 5107은 이 모든 것을 하나의 고성능 머신으로 제공합니다. 속도, 정확도 및 신뢰성의 조합으로 KLA/TENCOR 5107은 웨이퍼 도량형 및 테스트에 이상적인 도구입니다. 전체적으로 KLA 5107 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 자산 (metrology asset) 은 웨이퍼 품질의 빠르고 정확한 측정을 원하는 제조업체 및 연구 실험실을 위해 혁신적인 솔루션을 제공합니다. TENCOR 5107은 향상된 데이터 세분성, 시야성 (field-of-view), 프로세스 통합 및 반복 가능한 도량형을 제공하는 혁신적인 광학 및 표면 도량형 기술을 결합하여 자동 웨이퍼 도량형 및 테스트에 대한 새로운 표준을 설정했습니다.
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