판매용 중고 KLA / TENCOR 5107 #146169

KLA / TENCOR 5107
ID: 146169
웨이퍼 크기: 5"
Inspection System, 5".
KLA/TENCOR 5107 (KLA/TENCOR 5107) 은 데이터 분석과 결합된 고해상도 이미징을 사용하여 웨이퍼 표면의 물리적 특성을 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다수 웨이퍼 (Wafer) 의 정확성을 병렬로 테스트하고 검증할 수 있는 완전 자동화 (Fully Automated) 시스템으로, 테스트 중인 재료의 결함이 없는 생산 및 분석을 보장합니다. KLA 5107 은 여러 개의 레이저 빔 (laser beam) 과 광 센서 (light sensor) 를 사용하여 와퍼 표면에 작은 구조와 결함의 고해상도 이미지를 생성합니다. 이 장치는 고급 이미지 처리 알고리즘 (advanced image processing algorithms) 을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 거칠기 (roughness) 및 컨투어에서 결함 또는 프로세스 변형을 나타내는 작은 변화를 감지하고 측정할 수 있습니다. 이를 통해 기계는 문제 영역을 격리하여 신속하고 안정적인 결함 및 프로세스 모니터링 (process monitor) 을 허용합니다. TENCOR 5107은 안정적이고 정확한 결과를 제공하는 것 외에도 뛰어난 속도와 유연성을 제공합니다. 이 도구는 0.2 나노 미터 (0.2 나노 미터) 의 모든 측정을 포함하여 분 내에 전체 웨이퍼를 측정하고 분석 할 수 있습니다. 다른 테스트 시나리오에서 사용할 수있는 다양한 상호 교환 가능한 컴포넌트가 특징입니다. 이 구성 요소는 견고하며, 상당한 마모와 눈물 (tear) 을 겪지 않고 장기간 사용할 수 있습니다. 5107 출력은 그래픽 인쇄, 데이터베이스, 파일 시스템 등 다양한 형식을 통해 액세스할 수 있습니다. 모든 데이터는 엔지니어링 워크스테이션, 실험실, 기타 모든 유형의 제어 자산 (control asset) 으로 직접 익스포트할 수 있습니다. 이 모델은 또한 매우 다양하며, 다양한 테스트 응용프로그램을 수용하도록 구성할 수 있습니다. 결론적으로, KLA/TENCOR 5107은 고해상도 이미징, 정교한 이미지 처리 알고리즘, 다양한 상호 교환 가능한 구성 요소를 결합하여 빠르고 유연한 방법으로 정확하고 정확한 결과를 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다.
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