판매용 중고 KLA / TENCOR 5105 #9117501

KLA/TENCOR 5105는 정밀 성능과 정확성을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 개별 웨이퍼 맵 (Wafer Map) 에 대한 다양한 도량형 기능을 가장 안정적이고 포괄적으로보고합니다. 이 시스템은 필름 응력, 지형, 전기 특성, 다양한 DVD 매개변수, 임계 치수, 오버레이, 깊이 프로파일, 측벽 각도, 서피스 거칠기 및 3D 높이 이미지와 같은 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 솔루션을 통해 여러 기술 수준을 검토할 수 있으며, 각 모듈에 대한 start-of-line 및 end-of-line 요구 사항을 고려합니다. 이 장치는 직경이 최대 3 인치 인 여러 웨이퍼를 수용 할 수있는 대형 측정 존 (zone) 으로 제작되었습니다. 이 기계는 동시에 최대 16 개의 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 측정할 수 있도록 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 처리량 및 수익률이 극대화된 데이터를 수집할 수 있습니다. KLA 5105 툴에는 고급 도트 도량형이 장착되어 있어, 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 선 너비와 공간, 높이 차이, 지형 등을 감지할 수 있으며, 정확도가 높습니다. 자산의 특허 스캐닝 프레임은 빠르고 정확한 측정을 보장합니다. 이 모델에는 모듈식 (modular) 구성이 포함되어 있어 모니터링 요구 사항에 맞는 최상의 구성을 선택할 수 있습니다. Wafer Load/Unload, Automated Re-measurement Operation, 결함 분석에 대한 전문가 조언 등의 고급 기능 (예: 수동 및 자동 옵션) 중에서 선택할 수 있습니다. TENCOR 5105 장비는 사용자 안전을 고려하여 설계되었습니다. 임계부와의 우발적 접촉을 방지하기 위한 3 중 (3 중) 안전시스템을 갖추고 있다. 이 장치는 또한 모든 지역 및 국제 안전 규정을 준수합니다. 이 머신은 편리하고, 사용자에게 친숙한 인터페이스 (직관적인 메뉴) 를 갖추고 있어, 사용자가 쉽게 사용 가능한 기능을 탐색할 수 있습니다. KLA 의 광범위한 서비스/지원 네트워크를 통해 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다.