판매용 중고 KLA / TENCOR 5105 #293592897

KLA/TENCOR 5105는 고급 웨이퍼 생산 및 프로세스 제어를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Proven 1D 및 2D 검사 및 도량형 기술을 기반으로하며, 자가 교정 기능을 갖춘 새로운 300mm 광학 현미경 시스템을 통합하여 처리량 향상, 정확성 향상, 생산성 향상 등의 효과를 제공합니다. 이 장치는 자동 패턴 인식 및 고유 한 초점 아키텍처를 갖춘 2D 형상 정렬 도량형을 제공합니다. KLA 5105는 개선된 라인 너비 측정 정확도와 측정 범위 감소, 효과적인 라인 너비 제어 기능을 제공합니다. 또한, 기계는 공백, 긁힘, 미립자 물질과 같은 웨이퍼 결함을 감지하고 분석 할 수 있습니다. TENCOR 5105는 TENCOR의 혁신적인 Confocal Scanning Technology를 사용하여 데이터 수집 시간 및 관련 비용을 줄이면서 정확하고 반복적으로 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 하나의 완전한 스캔에서 48 개의 측정 지점을 수행 할 수 있으며, 결과적으로 처리량이 증가하고 최종 수익률이 높아집니다. 통합 이미지 처리 알고리즘은 또한 입자 분석을 개선 할 수 있습니다. 고급 저kV 에셋을 사용하여 5105는 200mm 웨이퍼에 최적화되어 있으며, 정확한 입자 크기 측정을 위해 100 미크론 해상도를 사용할 수 있습니다. 이 기능은 심각한 결함을 신속하고 효율적으로 식별하여 수율을 증가시킵니다. KLA/TENCOR 5105는 강력한 OpverFaber 4.2 소프트웨어를 사용하여 단시간 내에 단일 웨이퍼 및 전체 패널 시퀀스를 모두 분석하도록 특별히 설계되었습니다. 이 모델에는 실시간 (real-time) CMP 모니터와 저항성 열린 결함을 정확하게 분류하고 측정하는 결함 분류 장비가 장착되어 있습니다. 전반적으로 KLA 5105는 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 옵션으로, 향상된 속도, 정확도, 처리량 및 정밀도를 제공합니다. 또한 프로세스 제어를 강화하고 최적화를 실현할 수 있습니다. 이 시스템은 심각한 결함을 모니터링, 분석하고, 주기 시간을 줄이고, 수율을 높일 수 있는 귀중한 도구입니다.