판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #9361599

KLA/TENCOR 5100은 최고 수준의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 옵토 기계식 설계는 유연하고 정확한 위치를 제공하여 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 측정하고 검사 할 수 있습니다. 시스템은 최대 웨이퍼 주기 시간이 13.2 초인 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. KLA 5100의 이미징 장치에는 결함 및 기능 분석을위한 자세한 이미지를 캡처하는 디지털 카메라, 렌즈, 옵틱이 포함되어 있습니다. 이 기계는 입자, 브리징, 공극과 같은 결함을 1µm 해상도로 평가하기 위해 고급 결함 검사 소프트웨어를 통합했습니다. 또한 사용자는 결함 분류 및 결함 추적을 수행하고 이벤트를 0.1 초까지 시각화 할 수 있습니다. TENCOR 5100에는 고급 레이저 간섭계 측정 도구가 장착되어 있습니다. 좁은 레이저 빔을 사용하여 전체 웨이퍼 (1kHZ) 를 스캔하여 단일 포인트 측정을 위해 0.1 nm 이상의 해상도를 제공합니다. 데이터는 오버레이 교정, 3D 지형 측정 및 변형, 임계 치수, 오버레이 패턴 등 다양한 도량형 작업에 사용할 수 있습니다. 5100 자산에는 기판 핸들러 모듈도 포함되어 있어 자동으로 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수 있습니다. 모델은 성공적인 로드를 추적하고 모든 웨이퍼가 목적지에 도달하는지 확인합니다. 또한 웨이퍼 ID 추적, 데이터 로깅 및 분석, 보안 데이터베이스 액세스 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 자신의 생산성을 모니터링하고 품질과 추적 능력을 보장할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5100은 직관적인 사용자 인터페이스를 사용하여 작동합니다. 여러 언어 (영어, 중국어, 일본어, 한국어 및 러시아어) 를 지원하므로 국제 환경에서 더 쉽게 사용할 수 있습니다. 이 장비는 타사 애플리케이션 및 데이터베이스와 통합되어 유연한 맞춤형 구성/분석 기능을 제공합니다. KLA 5100 시스템은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 업계 최고의 해상도와 속도를 제공하는 한편, Wafer 생산을 보다 쉽게 모니터링하고 추적할 수 있습니다. 유연한 Opto-Mechanical 설계, 고급 이미징 및 레이저 간섭계 기능, 자동 처리, 직관적인 사용자 인터페이스, 보안 데이터베이스 액세스 기능을 통해 모든 반도체 생산자가 최상의 품질 보증 및 검증을 원하는 최적의 선택이 됩니다.