판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #9243617

KLA / TENCOR 5100
ID: 9243617
Inspection system.
KLA/TENCOR 5100 Wafer Testing and Metrology Equipment는 반도체 및 전자 제조업체를위한 혁신적인 솔루션 제공 업체 인 KLA의 최신 제품입니다. 이 시스템은 검사 및 결함 감지를 위한 종합적인 도량형 솔루션 (metrology solutions for inspection and defect detection) 을 제공하며, 입자와 프로세스 편차를 식별하여 항복 결과 및 장치 작동에 영향을 줄 수 있습니다. KLA 5100 장치는 자동화된 전면/후면 검사를 제공하여 제조업체에 프로세스/환경 문제를 신속하게 파악하고 수정하는 데 필요한 중요 데이터를 제공합니다. 이 기계의 5µm 경량 현미경 기술은 디테일로 1000 나노 미터 (nanometer) 의 작은 구조를 빠르고 정확하게 이미지화할 수있는 기능을 가지고 있으며, 경쟁 시스템보다 정확도가 큰 연마 된 웨이퍼 (wafer) 에서 서브 미크론 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 자동 결함 분류 및 결함 검토와 함께 다재다능한 자동 패턴 인식 (automated pattern recognition) 및 결함 식별 엔진 (defect identification engine) 을 자랑합니다. 이 기능은 제조업체가 중요한 결함을 신속하게 파악하고, 전반적인 프로세스 안정성과 디바이스 안정성을 보장하는 피드백을 제공합니다 (영문). 또한 TENCOR 5100 자산은 Autoprober 및 Automation Cell 소프트웨어 솔루션을 포함한 TENCOR 다른 제품과 쉽게 통합하여 장애 분석을 간소화합니다. 이 모델을 통해 제조업체는 에뮬레이트된 프로세스에 대한 도량형 (metrology) 을 신속하게 수행하고 장애 위치 보고서를 검토할 수 있습니다. 또한, 5100 은 사용하기 쉬운 인터페이스를 통해 도구, 템플릿, 전체 워크플로우 라이브러리에 액세스할 수 있습니다. 이를 통해 제조업체는 특정 프로세스 요구 사항을 구현하고 도량형 요구 사항을 간소화할 수 있습니다. 이 장비에는 직관적인 시각 형상 도구 (Visualization Tool) 도 포함되어 있어 다양한 형식의 웨이퍼 (Wafer) 데이터를 표시하고 비교할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5100 Wafer Testing and Metrology System은 반도체 및 전자 제조업체에 적합한 강력한 도구입니다. 자동화된 패턴 인식, 사용하기 쉬운 인터페이스, 완벽한 워크플로우 기능을 통해 제조업체는 프로세스 문제를 신속하고 효율적으로 검사하고, 파악하고, 수정할 수 있습니다. 이 장치는 효율성 최적화 (Optimize Efficiency), 제품 보호 (DW) 및 기타 잠재적인 문제에 대한 이상적인 솔루션입니다.
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