판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #9236713

KLA/TENCOR 5100은 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 제작 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 첨단 광학 기술, 고속 운영, 다양한 기능, 자동화된 운영 (automated operation) 을 통해 운영 및 연구 실험실 모두에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. KLA 5100 은 자동화된 광 검사 시스템으로, 결함에 대한 웨이퍼를 자동으로 스캐닝할 수 있습니다. 광학 헤드는 2 개의 레이저 다이오드, 영상 장치 및 2 개의 다른 기판 각도를 결합하여 웨이퍼 표면을 3D 검사할 수 있습니다. 이 기계는 미크론 척도의 결함을 감지 할 수 있으며, 초당 최대 4 개의 측정을 실행할 수 있습니다. TENCOR 5100에는 고급 도량형 도구와 기능도 포함되어 있습니다. 최대 25 미크론의 드라이 필름 수준을 측정하고 최대 50 미크론을 프로파일 할 수 있습니다. 또한 최대 +/-2 미크론의 오버레이 측정을 수행 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 최대 40 나노 미터의 저항성 및 필름 두께를 측정 할 수 있습니다. 운영 및 자동화 측면에서 5100 은 통합 Wafer-Probe 스테이션 (Wafer-Probe station) 을 장착하여 최대 1 미크론의 정확도로 웨이퍼를 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 자동으로 웨이퍼를 로드, 언로드할 수 있으므로 사용자가 개입할 필요가 없습니다. 또한 KLA/TENCOR 5100 은 원격 제어 및 프로그래밍이 가능하므로, 손쉽게 작동하고 더 효율적으로 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 모델은 대부분의 업계 표준 처리 툴과 통합되며, 다양한 호스트 컴퓨터 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. 전반적으로, KLA 5100은 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구를 위한 고급적이고 효율적인 솔루션입니다. 다양한 기능, 고속 운영, 자동 작업 (automated task) 을 갖춘 이 장비는 모든 반도체 제작 설비에 이상적인 선택입니다.