판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #9216348

KLA/TENCOR 5100은 효율적인 운영 작업 흐름을 촉진하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 5100 플랫폼은 풀 필드, 백사이드 (비접촉) 표면 검사 및 측정 시스템으로, 지속적인 수동 조작이 필요 없이 포괄적이고 안정적인 결함 감지 및 정확성을 달성할 수 있습니다. TENCOR 5100은 고급 이미징 기술과 강력한 이미징 분석 소프트웨어 (imaging analysis software) 를 활용하여 도량형 데이터 검사 및 결함을 제공합니다. 이미징 하위 시스템은 최대 결함 감지 및 정확성을 위해 설계되었습니다. 빠른 스캐닝 레이저 라인 레티클, Telecentric Optics 및 고해상도 인터 라인 전송 CCD는 다양한 웨이퍼 유형의 전체 필드 커버리지를 제공합니다. 전체 5100 플랫폼은 옵션 로봇 공학을 추가하여 완전히 자동화 할 수 있습니다. 웨이퍼는 로드 포트에서 KLA/TENCOR 5100's chuck으로 이동 한 다음 최대 효율로 장치에 의해 검사 할 수 있습니다. 수동으로 작동 할 때, KLA 5100의 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 를 통해 운영자는 표준 인체 공학 도구와 기능을 갖춘 편안하고 인체 공학적 위치에서 검사 영역 가까이에 위치 할 수 있습니다. 고급 도량형 플랫폼 (Advanced metrology platform) 은 웨이퍼 상태와 임계 치수에 대한 정확한 조사 및 분석을 가능하게합니다. 자동 라우팅, 물방울 결함 수 (waterdrop defect count), 관심 영역 측정 및 스크롤 전면 매핑 (froling front-surface mapping) 과 같은 KLA 고급 기능은 신뢰할 수있는 정확도로 다양한 웨이퍼 유형을 포괄적으로 분석합니다. TENCOR 5100에는 강력한 소프트웨어 인터페이스도 있습니다. 모든 시스템 매개변수, 데이터 획득, 이미지 분석, 보고서 생성 등을 구성, 제어할 수 있습니다. 종합적인 온보드 결함 분석 도구 (on-board defect analysis tools) 는 향상된 특성을 위해 웨이퍼 양쪽에서 빠른 결함 범주화를 제공합니다. 5100 은 대용량 운영 환경에 적합하며, 설치, 운영 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 또한, 이 툴을 확장하고 업그레이드할 수 있으므로 필요에 따라 사용자가 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR 5100 은 다양한 구성으로 제공되며, 다양한 제품과 업계의 구체적인 요구 사항을 충족할 수 있습니다.