판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #9043939

KLA/TENCOR 5100은 운영 수준의 프로세스 제어 및 데이터 분석을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 여러 가지 기존 테스트 장비 (Test Equipment) 의 기능을 결합하여 매우 정확하고, 빠르고, 신뢰할 수있는 통합 시스템을 만듭니다. KLA 5100은 4 개의 레이저 인코더로 웨이퍼 (wafer) 기능을 측정하여 단일 스캔에서 매우 정밀한 기능을 측정하는 쿼드 빔 도구를 기반으로합니다. 여러 가지 유형의 인코더 처리 시스템을 설치할 수 있으므로 전기 (electrical) 및 광학 (optical) 측정 모두에 대한 뛰어난 유연성과 측정 정확도를 만들 수 있습니다. 공정 관련 재료, 먼지, 공기 오염 물질로부터 민감한 계측기를 보호하기 위해 고급 공정 챔버 (advanced process chamber) 로 구성됩니다. 또한 도핑 된 웨이퍼, 이온 이식 및 기타 프로세스 도구를 통합 할 수 있습니다. TENCOR 5100 은 프로세스 윈도우가 매우 커서 단일 빔 (beam) 장치보다 훨씬 많은 처리량을 제공합니다. 5100 의 통합 이미징 머신 (Integrated Imaging Machine) 은 고해상도와 빠른 스캔 시간으로 웨이퍼 이미지를 캡처하는 데 사용할 수 있습니다. 따라서 중요한 기능 특성과 잠재적인 프로세스 이상을 신속하게 파악할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5100에는 고급 정렬 시스템, 고배율 광학 및 측면 도량형과 같은 고급 도량형 기능도 있습니다. 이를 통해 CD (Critical Dimension) 와 같은 작은 피쳐의 정밀 측정과 전기 성능 특성 (Electrical Performance Characteric) 을 평가할 수 있습니다. 마지막으로, KLA 5100 은 복잡한 소프트웨어를 사용하여 프로세스 결과 수집, 테스트/도량형 (Test and Metrology) 단계 수집, 분석 등을 통해 가장 최적화되고 안정적인 프로세스를 보장합니다. 이를 통해, 발생할 수 있는 모든 프로세스 문제를 신속하게 파악하고, 이를 해결하기 위해 시정 (corrective) 조치를 취할 수 있습니다. TENCOR 5100은 뛰어난 성능의 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 생산 층에 유연성, 정확성, 처리량, 분석 등의 이점을 제공합니다. 웨이퍼 프로세스의 평가, 개선 및 최적화에 이상적인 자산입니다.