판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #293767084

ID: 293767084
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 5100은 플라나라화, 결함 감지, 중요 치수 측정 등 주요 웨이퍼 테스트 매개변수에 대한 포괄적인 통찰력을 제공하기 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. KLA 5100 은 고급 옵틱 스캔 기술을 활용하여 고해상도 다이 (in-die) 측정을 수행하여 웨이퍼의 중요한 측면을 이해할 수 있습니다. TENCOR 5100 (TENCOR 5100) 은 심도, 너비 등 고해상도 (High Aspect Ratio) 기능을 이미징 및 테스트할 수 있도록 최적화되어 있어 하위 미크론 수준에서 웨이퍼의 성능 특성을 테스트할 수 있습니다. 5100 은 파장 이미징 기능이 내장되어 있어 가장 까다로운 고종횡비 (HPR) 구조까지 측정할 수 있다. KLA/TENCOR 5100 의 자동화된 아키텍처를 통해 테스트 반복성이 향상되어 운영자에 관계없이 일관성이 보장됩니다. 또한 KLA 5100은 표면 프로파일 분석, 3D 오버레이 도량형, 다이 투 다이 상관 관계 등 여러 가지 통합 도량형 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 여러 레벨의 웨이퍼 (wafer) 성능을 측정, 분석할 수 있으며, 주요 테스트 매개변수에서 해당 웨이퍼가 어떤 방식으로 수행하는지 보다 자세히 파악할 수 있습니다. 또한 TENCOR 5100 (TENCOR 5100) 은 자동화된 웨이퍼 조명 시스템을 갖추고 있어 여러 각도와 깊이에서 웨이퍼를 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 모든 측정 가능한 피쳐가 올바르게 시각화되어 데이터 (보다 정확하고 정확함) 가 생성됩니다. 5100 솔루션은 운영 환경이 가혹하여 운영자의 개입 (Intervention) 또는 수동 유지 보수 (Manual Maintenance) 가 필요없도록 설계되었습니다. 고급 제어 및 자동화 (Advanced Control and Automation) 하드웨어는 시스템을 보호하고 원활하게 실행되도록 특별히 설계되었습니다. 여기에는 먼지 및 습도 밀봉뿐만 아니라 진동 및 충격 보호도 포함됩니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 5100 은 시중에서 가장 향상된 Wafer 테스트 및 도량형 솔루션 중 하나로, Wafer 성능에 대한 신뢰성이 높은 데이터를 고객에게 제공합니다. KLA 5100 은 고급 이미징 (imaging) 및 도량형 (metrology) 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 대한 wafer 테스트 매개변수를 이해하고 개선해야 하는 통찰력을 제공합니다.
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