판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #293630446

ID: 293630446
Overlay measurement and inspection system Spares included.
KLA/TENCOR 5100은 높은 처리량 웨이퍼 검사 및 도량형을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 탁월한 설계와 기능으로, 주기, 처리량, 비용 절감, 더욱 빠르고 정확한 데이터 수집 및 분석 작업을 수행할 수 있습니다. KLA 5100은 고급 비전, 자동화 및 감지 기술을 활용하여 웨이퍼 표면을 신속하게 검사하고 분석합니다. 레이저 보조 스캔, 편광 대비 현미경, 3D 광학 이미징, 스펙트럼 반사 이미징 등 다양한 이미징 기술을 사용하여 웨이퍼 기능과 결함을 측정합니다. TENCOR 5100에는 자동 웨이퍼 로더, 언로더, 오리엔터, 정렬 등 다양한 고속 웨이퍼 처리 옵션이 있습니다. 이 시스템은 용도에 맞게 최대 8 개의 툴을 지원하며, 빠르고 정확한 어레이 분석을 위한 첨단 디지털 상호 관계 (cross-correlation) 기능을 갖추고 있습니다. 5100은 입자 수, 표면 전하, 표면 거칠기, 나노 연관, 웨이퍼 매핑 및 표면 결합 테스트를 포함하여 빠르고 정확한 도량형 측정을 제공합니다. 이 제품은 중요한 결함과 슬립을 신속하게 파악하고 분류할 수 있도록 설계되었으며, 반복성이 뛰어납니다. 시스템의 유연성은 일치 (matching), 분석 (analyzing), 정렬 (sorting), 웨이퍼 테스트 수행 (on-wafer test) 등 다양한 사용자 정의 가능한 작업을 가능하게 합니다. KLA/TENCOR 5100의 고유 기능에는 자동 프로세스 제어, 고급 분석, 데이터 수집, 웨이퍼 추적 및 프로세스 식별이 포함됩니다. 프로세스 개발, 특성 및 생산에 대한 질적이고 양적인 데이터를 제공합니다. 클라 5100 (KLA 5100) 은 웨이퍼의 결함 위치를 빠르고 정확하게 연관시키는 포괄적인 데이터 분석 툴을 제공합니다. TENCOR 5100은 반도체 산업에서 귀중한 도구입니다. 첨단 기술과 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 높은 수준의 처리량 웨이퍼 (Throughput Wafer) 검사 및 도량형을 제공하는 안정적이고 경제적인 솔루션입니다. 즉, 빠르고 정확한 결과와 높은 수준의 처리량과 유연성을 제공하는 한편, 주기 (cycle) 시간도 단축해 줍니다.
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