판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #293619673

KLA/TENCOR 5100 (KLA/TENCOR 5100) 은 다양한 웨이퍼 기판에 대한 다양한 도량형 및 테스트 애플리케이션을 제공하는 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 300mm 적재 로봇 장치가 장착되어 있어 "웨이퍼 '를 빠르고 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. 이 기계는 또한 200mm ~ 300mm 범위의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며 생산 및 R&D 응용 프로그램을 모두 처리 할 수 있습니다. KLA 5100은 고급 도구 제어를 활용하여 처리량이 많은 작업을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 툴은 대용량 반도체 제조업체의 요구에 부응하도록 설계되었으며, 고급 (Advanced) 수율 관리 및 최적화를 제공하도록 설계되었습니다. 에셋은 곡률, 평판, 응력, 두께 등의 매개변수를 포함하여 웨이퍼의 다양한 물리적, 전기적, 화학적, 기계적 특성을 테스트하고 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 X- 선 회절, 타원법, 마이크로 점성 측정법과 같은 여러 가지 비 파괴 테스트 기술을 사용합니다. 또한 원자력 현미경, 전자 빔 검사, 열 특성 측정 등 다양한 상대 및 절대 테스트를 사용합니다. TENCOR 5100에는 웨이퍼 (Wafer) 및 고급 이미지 처리 기능에 대한 전체 뷰 테스트 범위를 제공하는 라이브 이미징 (Live Imaging) 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 1 차원 및 2 차원 패턴 인식을 모두 지원합니다. 이 장치는 또한 고해상도 스캔 헤드 (Scan Head) 와 챔버 (Chamber) 를 갖추고 있으며, 동일한 영역을 해상도의 최대 5 배 더 높게 볼 수 있습니다. 이 기계는 자동 샘플 포지셔닝, 자동 샘플 처리, 자동 촉각 피드백 (tactile feedback) 을 활용하여 처리량을 향상시키도록 설계되었습니다. 이를 통해 빠른 처리 시간을 위해 웨이퍼를 신속하게 테스트 할 수 있습니다. 또한 고급 수율 관리를 위한 다중 애플리케이션 테스트도 가능합니다. 5100 은 멀티 플랫폼, 멀티벤더 개발, 테스트 기능을 제공하는 업계 최고의 소프트웨어 애플리케이션을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 테스트 프로그램을 사용자 정의하고 결과를 신속하게 분석할 수 있습니다. 또한 다양한 플랫폼의 테스트 데이터를 완벽하게 통합할 수 있습니다. 자산에 사용되는 모든 소프트웨어 애플리케이션은 기존 하드웨어/클라이언트 시스템과 호환되므로, 신속하고 간편한 사용자 정의가 가능합니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 5100은 다양한 웨이퍼 기판에 대한 다양한 테스트 및 측정 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 반도체 (반도체) 의 대용량 제조업체를 위한 이상적인 툴로, 빠르고 정확하게 결함을 제거해야 한다. 이 장비는 효율적인 테스트 및 데이터 분석 (data analysis) 기능을 통해 테스트 결과를 신속하게 보고할 수 있습니다. 또한, 고급 소프트웨어 애플리케이션은 기존 하드웨어/클라이언트 시스템과 손쉽게 맞춤형으로 구성하고 상호 운용할 수 있습니다.