판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #293603716

KLA/TENCOR 5100은 비접촉 광 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 중요한 크기, 결함, 오버레이 대상 (overlay target) 과 같은 디바이스 매개변수의 정확하고 포괄적인 고밀도, 고속, 적용 범위를 제공합니다. 이 시스템은 반도체, 광자 및 MEMS 장치에 사용하도록 설계되었습니다. 클라 5100 (KLA 5100) 에는 내장형 평면 패널 디스플레이와 전동식 플랫폼이 장착된 전원 구동, 접점 (Point-of-Contact) 마운팅이 장착되어 있어 가장자리에서 웨이퍼의 중심을 최대 300mm 크기로 이동할 수 있습니다. 고급 광학 장치는 단일 축, 이중 축, 3축 이미징 기능과 다양한 일반/사용자 정의 측정/분석 기능을 제공할 수 있습니다. 이 기계는 생산성을 높이고 정확성을 최적화하기 위해 다양한 자동 (automated) 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 자동 초점 및 정렬, 자동 결함 감지, 자동 대비 최적화 및 스캔 전략, 자동 오버레이 등록, 자동 프로세스 최적화 등이 있습니다. TENCOR 5100의 고급 도량형 기능에는 패턴 워퍼에 대한 이미징 및 측정, 장치 가장자리, 장치 코너 및 찾기 실패 테스트가 포함됩니다. 공기 베어링 스캔, 폐쇄 루프 패턴 포지셔닝 및 측정, 임베디드 다이 검사 등의 특수 기술도 제공됩니다. 고속 스캔 기능을 통해 보다 효율적인 처리량을 제공할 수 있으며, 고급 (Advanced) 알고리즘을 통해 웨이퍼 (Wafer) 검사 성능을 향상시킬 수 있습니다. 5100은 결함 검토 및 분석에도 적합합니다. 변경 감지, total defect mapping and classification, defect clustering, hotspot analysis 등 다양한 장애 분석 옵션을 지원할 수 있습니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 5100은 매우 정확하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 최신 기능을 제공하며, 사용자는 수율 극대화, 제품 성능 및 안정성 향상, 폐기물/폐기 감소 등을 실현할 수 있습니다.