판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 #293603393
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ID: 293603393
Overlay inspection system
(2) PZT Sensors 450-451849-00
ALMB PCB 710-404368-00
Main frame
Console
Power stabilizer
Exhaust fan
LAMBDA 284BE-1A-1715 Power supply missing.
KLA/TENCOR 5100은 반도체 제조를 위해 고급 프로세스 및 장치 특성을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것은 2 배 이하의 나노 미터 정권에서 차세대 장치의 웨이퍼 특성을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 이미징 기술을 사용하여 다양한 반도체 프로세스 (semi-conductor process) 에 걸친 저용량 산란법을 정량화합니다. 여기에는 고대비 검사를 위한 광 회절 (light diffraction) 및 투과 이미징 (transmission imaging) 과 심각한 결함 및 핫스팟 측정을 찾기 위한 독특한 자동 초점 광학 장치가 포함됩니다. 클라 5100 (KLA 5100) 은 빠른 스캔 속도와 자동화된 교정 기능을 제공하여 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 자동 초점이 내장되어 있어 다양한 깊이에 웨이퍼를 배치해도 이미지가 계속 초점을 맞출 수 있으며, 자동 정렬 루틴 (automatic alignment routine) 은 작업 중에 이미징 머신을 올바르게 정렬합니다. 이 도구는 또한 광범위한 소재에 걸쳐 탁월한 정렬 정확도 (Alignment Accuracy) 와 반복성 (Repeatability) 을 제공하여 사용자가 Optic을 쉽게 조작하고 다른 소재로 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한, 고급 장치 특성화를위한 오버레이 (overlay) 및 직접 측정 (direct measuration) 을 포함하여 다양한 응용 프로그램에 대한 다양한 샘플링 기술을 제공합니다. 이 자산은 빠른 스캔 속도, 낮은 소음 이미징 기술, 통합된 데이터베이스/분석 툴 (database/analytic tools) 을 통해 데이터를 정확하게 저장하고 쉽게 액세스할 수 있도록 하는 높은 처리량을 자랑합니다. 또한, 지능형 인터페이스 구성 요소와 직관적인 분석 소프트웨어, 강력한 결함 데이터베이스, 실시간 도량형 분석 (metrology analysis) 등의 직관적인 툴을 갖추고 있습니다. 이 모델의 고급 로봇 (Advanced Robotics) 기능은 또한 사용자가 장비를 모든 위치로 빠르게 옮기거나, 수동 단계 이동 (Manual Stage Movement) 또는 피쳐 (Feature) 할당의 번거로움을 완화함으로써 정확성을 보장합니다. TENCOR 5100 (TENCOR 5100) 은 반도체 제조업체가 프로세스 및 생산 용량을 극대화하려는 귀중한 도구입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 특성화하여 고수율 웨이퍼가 최대한의 효율로 시장에 출시되었습니다. 또한, 이 장치의 고급 기능 (예: 데이터 저장, 분석 도구) 은 수집된 데이터를 완벽하게 저장하고 정확하게 정리합니다. 따라서, 5100 기계는 반도체 제조를위한 강력한 도구이며, 품질 관리 및 프로세스 최적화를 위해 장치 특성에 대한 필수 통찰력을 제공합니다.
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