판매용 중고 KLA / TENCOR 5100 XP #293727707

KLA/TENCOR 5100 XP는 고급 리서치 및 개발 실험실에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 분광학 기술을 사용하여 웨이퍼의 물리적 특성을 측정합니다. 이 장치는 광학 및 전기 저항성 (optical and electrical resistivity), 미세 구조 (microsstructure) 및 필름 두께 (film thickness) 와 같은 매개변수의 정확한 측정을 제공하여 연구원들이 최첨단 마이크로 전자 제품의 제조를 최적화 할 수 있습니다. 이 기계는 강력한 검사 도구를 갖추고 있으며, 12 인치 직경 내에서 웨이퍼를 이미징 할 수 있으며, 정확성과 감도는 0.1 마이크로 미터입니다. 또한, 자산은 몇 분 이내에 단일 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면을 빠르게 스캔하고 분석할 수 있으므로 빠른 회전 (fast-turn) 프로세스에 이상적입니다. KLA 5100 XP에는 웨이퍼 포지셔닝을위한 2 개의 독립적 인 전동 단계도 있습니다. 이 단계는 선형 (linear) 및 회전 (rotary) 동작을 모두 가능하며, 연구원들이 단일 세션에서 여러 표본을 검사 할 수있는 유연성을 제공합니다. 단계는 1 미크론으로의 해상도로 매우 정확합니다. 이 모델에는 정밀 광학 현미경과 고성능 이미징 카메라가 있습니다. 이 카메라는 최대 0.1 나노미터 (0.1 나노미터) 의 해상도에서 미세 선 (fine line) 이나 컷 깊이 (depth of cut) 와 같은 단일 서피스 또는 기타 개별 피쳐의 이미지를 캡처할 수 있습니다. 현미경은 연구원들에게 샘플을 심층적으로 분석 할 수있는 능력을 제공하여 소전기 (microelectronic) 과정을 더욱 최적화하는 데 사용될 수있는 귀중한 정보를 제공합니다. TENCOR 5100XP의 다른 기능으로는 자동 웨이퍼 표면 검사 장비, 웨이퍼 중앙 집중화 측정을위한 자동화 된 결함 측정 데이터 수집 시스템, 입자 크기 및 위치를 결정하는 자동 입자 테스트 장치 (automated particle testing unit) 가 있습니다. 결론적으로, 5100XP는 가장 까다로운 연구 및 개발 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 도구는 연구원들에게 빠르고 정확하게 웨이퍼 (wafer) 특성을 측정할 수있는 유연성을 제공하여 프로세스를 최적화하고 최고 품질의 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품을 생산할 수 있습니다.