판매용 중고 KLA / TENCOR 5015XP #9105783

KLA/TENCOR 5015XP는 기술적으로 진보된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 제조업체의 수율 향상, 주기 시간 단축, 비용 절감 효과를 제공합니다. 업계 최고의 인공지능과 고해상도 공중영상 (Aerial Imaging) 을 결합함으로써, KLA는 처리 중인 웨이퍼에 있는 각 개별 칩의 특성을 정확하게 식별, 검사, 측정할 수 있습니다. 각 개별 "칩 '의 모양 과 크기 를 측정 하고" 칩' 표면 을 검사 하는 데 있어서 이 "시스템 '은 매우 정확 하게 설계 되었다. 직관적인 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 갖추고 있어, 운영자는 테스트 매개변수를 빠르고, 쉽게 설정하고, 도량형 매개변수를 즉석에서 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 NGED (Next Generation Edge Detection) 라는 독점 분석 패키지가 장착되어 있으며, 이를 통해 정확한 측정에 대한 에지 감지 분석이 가능합니다. 이를 통해 연산자는 단일 포인트 (single point) 가 아닌 여러 지점에서 웨이퍼를 분석 할 수 있으며, 각 칩은 개별 레벨에서 정확하게 분석됩니다. 이 기계는 또한 낮은 소음, 고정밀 동작 도구를 특징으로하며, 저진동 공기 베어링 (air-bearing) 설계를 통해 처리 중인 웨이퍼의 부드럽고 정밀한 위치를 지정할 수 있습니다. 또한, 자산은 고속 데이터 수집 모델을 사용하여 데이터 수집 속도를 높이고, 각 개별 다이 (die) 의 고해상도 이미지를 캡처 할 수있는 도량형 카메라를 제공합니다. KLA 5015XP를 통해 연산자는 에지 정의, 다이 크기, 대칭, 평면도, 원형, 면적, 둘레 및 임계 치수를 포함한 다양한 다이 특성을 동시에 측정 할 수 있습니다. 이 장비는 Etch, Diffusion, Lithography 및 RoundRobin 소프트웨어와 완벽하게 통합되어 데이터를 원활하게 후처리 및 사후 운영 정렬할 수 있습니다. 마지막으로, 유지 보수 지원 경고 장치 (maintenance assistance alert unit) 로 인해 시스템은 안정성이 높으며, 유지 보수가 필요한 경우 운영자에게 실시간으로 경고를 보냅니다. 따라서 다운타임을 최소화하여 생산성 증대, 비용 절감 효과를 얻을 수 있습니다.