판매용 중고 KLA / TENCOR 5011 #9226125

KLA/TENCOR 5011은 웨이퍼 분석 및 결함 발견에 사용되는 매우 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 도량형 시스템은 주사 전자 현미경 (SEM) 기술과 강력한 광학 영상 기술의 조합을 사용하여 전체 웨이퍼 표면의 고도로 상세한 측정 및 사진을 캡처합니다. KLA 5011은 단일 도량형 장치에서 완전한 웨이퍼 분석 및 결함 검사를 제공합니다. 텐코 5011 (TENCOR 5011) 은 도구를 통해 모든 웨이퍼 표면을 조작하도록 설계된 독점 웨이퍼 전송 기계를 사용합니다. 이 운송 자산은 손상을 입히지 않고 SEM 이미징 및 광학 이미징 시스템에서 실리콘 웨이퍼를 정확하고 정확하게 전송하도록 설계되었습니다. 웨이퍼가 위치에 있으면 모델은 2 차원 (2D) 에지 스캔, 3 차원 (3D) 이미징, 무접촉 스텝 높이, 웨이퍼 스텝 높이 및 저항성 측정을 수행 할 수 있습니다. 5011 은 높은 정확도와 속도로 최적화되어 광범위한 웨이퍼 (wafer) 분석 및 결함 감지 기능을 제공합니다. 장비는 단일 자동 플랫폼에서 전위 (dislocation), 프로세스 변형 (process variations), 입자 오염 (particle contamination) 과 같은 결함을 감지하고 식별 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 결함, 스테이지 문제, 상감 라인, 형태 학적 특징, 저항 지문 및 기타 다양한 웨이퍼 특성을 통해 인쇄를 감지 할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5011의 광학 이미징 구성 요소는 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 제공 할 수 있습니다. 이를 통해 결함 및 특성을 식별할 수 있으며, 그렇지 않으면 감지할 수 없습니다. 광학 이미징 장치 (Optical Imaging Unit) 도 어두운 필드 모드에서 결함을 감지하도록 구성되어 명료한 명암을 감지 할 수 있습니다. 클라 5011 (KLA 5011) 은 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능 외에도 포괄적인 데이터 분석 및 정렬 도구를 제공합니다. 이 기능은 사용자가 데이터를 빠르고 쉽게 정렬하여 검사, 플래그 결함 (flag defects), 계산 (calculations) 및 통계 분석 (statistical analysis) 의 수익률 영향을 결정하도록 합니다. TENCOR 5011 (TENCOR 5011) 은 강력하고 신뢰할 수 있는 기계로, 정확하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 결과를 제공할 수 있습니다. 이 툴은 다양한 웨이퍼 (Wafer) 크기와 프로세스에 걸쳐 폭넓은 범위를 제공하도록 설계되었으며, 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 (Metrology) 분야에서 사용할 수 있는 가장 정밀하고 빠른 처리량을 제공할 수 있습니다.