판매용 중고 KLA / TENCOR 5011 #293616228

KLA/TENCOR 5011은 시장에서 사용할 수있는 가장 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 대한 광범위한 중요한 특징과 전기 특성을 측정하는 데 사용됩니다. 이 장비는 최대 8 인치 크기의 웨이퍼를 높은 정확도로 처리 할 수 있으며, 통신, 전력, 자동차, LED 조명 등 다양한 산업에 적합합니다. 이 시스템은 Wafer Inspection Station과 Wafer Metrology/Test Station의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. Wafer Inspection Station에는 현미경, 레이저, 초점 및 정렬, 이미지 처리 기능이 포함되어 있습니다. 이 스테이션을 사용하면 웨이퍼 표면 및 구조의 자세한 검사 및 특성화가 가능합니다. 각 "웨이퍼 '의 고해상도" 이미지' 를 찍음 으로써, 그 장치 는 반도체 제품 의 작용 에 영향 을 줄 수 있는 결함 과 기타 불규칙 을 식별 할 수 있다. Wafer Metrology/Test Station은 강력한 분광계와 다양한 자동 테스트 및 측정 장치를 갖추고 있습니다. 이 "스테이션 '은" 웨이퍼' 에 있는 여러 가지 특징 과 전기 특성 을 정확 하게 측정 할 수 있게 해 준다. 여기에는 필름 두께 (film thickness) 와 같은 웨이퍼 서피스의 지형과 시트 (sheet) 및 접촉 저항 (contact resistance) 과 같은 전기 특성을 측정하는 것이 포함됩니다. 이 기계는 물리적 (physical) 데이터와 전기적 (electrical) 데이터를 모두 제공함으로써 웨이퍼 표면의 프로세스 변형을 정확하게 식별하고 특성화할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도, 이 도구는 뛰어난 인라인 결함 감지 기능도 제공합니다. 자산의 고급 검사 (Advanced Inspection) 및 도량형 (Metrology) 기능을 활용하여 고객은 웨이퍼 표면에서 발견된 결함 또는 불규칙성에 대해 신속하게 식별, 분석, 수정 조치를 취할 수 있습니다. 전반적으로 KLA 5011은 신뢰성이 높고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 고급 결함 탐지 (Advanced Defect Detection) 는 물론, 웨이퍼 표면의 상세한 분석과 특성을 제공함으로써, 이 장비는 다양한 업계의 고객에게 필수적인 도구입니다.