판매용 중고 KLA / TENCOR 5000 #6428

KLA/TENCOR 5000 은 웨퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 장비로, 운영 처리량 증대, 품질 관리 능력 향상, 생산량 증대를 위한 다양한 기술을 제공합니다. 이 제품은 결함 검사, 검토 및 분류, Critical Dimension 측정, On-Wafer 측정 등 중요한 프런트엔드 제조 프로세스를 자동화할 수 있는 자동화된 통합 Wafer Metrology 시스템입니다. KLA 5000 장치는 여러 단계의 장치 측정을 자동화 및 제어하는 통합 도구 모음을 자랑합니다. 기계의 주요 구성 요소는 다음과 같습니다. 웨이퍼 이미징을위한 (CCD), 자동 웨이퍼 프로브를위한 6 축 동력 암이있는 프로버, 터치 스크린 인터페이스를위한 도량형 컨트롤러, 결함 감지 및 분류를위한 비전 라이브러리, 치수 측정을위한 레이저 간섭계, 온도를위한 환경 챔버, 습도 및 압력 제어, 열 정밀 현미경. 이 도구는 저-k 유전체 필름, 고급 포장 기판, MEMS 장치, 나노 구조 재료 및 변형된 기판을 포함한 다양한 재료와 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 또한, 자산의 각 부분은 디지털 (digital) 으로 설계되어 wafer fab, test laboratories 또는 customer site와 같은 다른 위치 간에 도량형 데이터를 전송할 수 있습니다. 이러한 방식으로 고객은 데이터를 쉽고 빠르게 보고, 분석하고, 관리할 수 있습니다. 고급 결함 감지, 검토, 분류 기술과 함께 TENCOR 5000 모델은 디바이스 성능에 대한 귀중한 지식을 제공합니다. 이를 통해 결함 동작의 특성을 지정하고 제조 공정의 변화와 약점을 식별할 수 있습니다. 또한, CDSEM 및 AFM 기술을 결합하여, 복잡한 구조를 정확하게 분석 할 수있는 고해상도 이미징을 얻을 수 있습니다. 첨단 기술과 자동화된 제어 기능을 갖춘 5000 개 장비는 프런트엔드 (Front-End) 제조 프로세스의 효율성과 정확성을 대폭 향상시켜 고품질 (High-Quality) 디바이스를 생산할 수 있으며, 보다 경제적인 방법으로 항복 (Yield-Limiting) 문제를 해결할 수 있습니다.