판매용 중고 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #293590364

KLA/TENCOR 5000 Surfscan은 고급 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 탁월한 하드웨어, 소프트웨어와 더불어 높은 처리량, 반복 가능하고 안정적인 표면 분석을 통해 탁월한 성능을 제공하는 차세대 툴입니다 (영문). 이 시스템은 Wafer 애플리케이션의 까다로운 이미징 및 분석 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 높은 확대 및 해상도, 고속 스캔 및 데이터 획득, 우수한 wafer-to-wafer 반복 기능, 광범위한 도량형 및 표면 분석 솔루션을 제공합니다. Blemish-Free 이미징 프로세스를 사용하여 정확한 그레인 사이징, 서피스 마무리 평가, 결함 측정, 구성 분석, 3D 지형에 적합한 UltraSharp 이미지를 만들 수 있습니다. KLA 5000 Surfscan은 단일 및 다중 축 단계를 선택하여 모듈 식 플랫폼을 기반으로합니다. 유연한 해상도와 최대 스캔 면적은 650mm x 650mm입니다. 이 장치는 또한 다양한 액세서리 (예: 고해상도 백사이드 이미징 머신, 자동 다이 투 다이 스캔 모듈) 로 업그레이드 할 수 있습니다. 이것은 TENCOR 5000 Surfscan으로 수행 할 수있는 응용 프로그램의 범위를 증가시킵니다. 광학의 측면에서 볼 때, 이 도구에는 최첨단 광학 헤드가 장착되어 있어 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 고해상도 광학 헤드에는 회절 제한 옵틱, 자동 LED 수준 제어 및 냉각 디지털 카메라가 있습니다. 이 자산은 그래픽 인터페이스 및 내장 반사 비전 (reflex vision) 알고리즘을 갖춘 직관적이고 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스도 갖추고 있습니다. 선형성 (Linearity), 반복성 (Repeatability) 및 정확도가 높아 사용자가 자신 또는 그의 샘플의 중요한 매개변수를 면밀히 모니터링할 수 있습니다. 5000 Surfscan은 2D 및 3D 통계 분석 및보고도 가능합니다. 데이터 분석을위한 강력한 소프트웨어 (자동 스티칭 및 결함 분석 포함) 가 포함되어 있습니다. KLA/TENCOR 5000 Surfscan은 실제로 고성능 Wafer Testing and Metrology 도구입니다. 견고한 설계 (design) 및 최첨단 컴포넌트는 사용자가 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하므로, 정확한 표면 분석 (surface analysis) 또는 도량형 (metrology) 이 필요한 업계에 적합한 툴입니다. 이 차세대 모델은 반도체 제조· 고장 분석· 고급물자 연구· 개발 등 폭넓은 집약적 응용에 적합하다.